本技術(shù)涉及熱處理,具體為一種風(fēng)機(jī)測(cè)速裝置。
背景技術(shù):
1、退火爐是在半導(dǎo)體器件制造中使用的一種工藝,其包括加熱多個(gè)半導(dǎo)體晶片以影響其電性能,熱處理是針對(duì)不同的效果而設(shè)計(jì)的,可以加熱晶片以激活摻雜劑,將薄膜轉(zhuǎn)換成薄膜或?qū)⒈∧まD(zhuǎn)換成晶片襯底界面,使致密沉積的薄膜,改變生長(zhǎng)的薄膜的狀態(tài),修復(fù)注入的損傷,移動(dòng)摻雜劑或?qū)诫s劑從一個(gè)薄膜轉(zhuǎn)移到另一個(gè)薄膜或從薄膜進(jìn)入晶圓襯底,退火爐使用中要用到風(fēng)機(jī),此時(shí)就需要一種風(fēng)機(jī)測(cè)速裝置。
2、但是現(xiàn)有技術(shù)還存在如下問(wèn)題:
3、首先,現(xiàn)有技術(shù)的退火爐風(fēng)機(jī),無(wú)測(cè)速裝置,由變頻器控制電機(jī)速度從而帶動(dòng)風(fēng)機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng),如果出現(xiàn)風(fēng)機(jī)速度降低,或者皮帶斷裂造成風(fēng)機(jī)速度下降,工作人員在地面無(wú)法第一時(shí)間知道;
4、其次,現(xiàn)有技術(shù)的測(cè)速裝置,不便于對(duì)監(jiān)測(cè)結(jié)構(gòu)進(jìn)行安裝,由于驅(qū)動(dòng)風(fēng)機(jī)的電機(jī)擺放位置不同,若不便于安裝,則會(huì)使得監(jiān)測(cè)結(jié)構(gòu)不能適用于大多數(shù)退火爐風(fēng)機(jī)上,具有局限性。
5、針對(duì)上述問(wèn)題,發(fā)明人提出一種風(fēng)機(jī)測(cè)速裝置用于解決上述問(wèn)題。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、為了解決無(wú)測(cè)速裝置和不便于對(duì)監(jiān)測(cè)結(jié)構(gòu)進(jìn)行安裝的問(wèn)題;本實(shí)用新型的目的在于提供一種風(fēng)機(jī)測(cè)速裝置。
2、為解決上述技術(shù)問(wèn)題,本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案:一種風(fēng)機(jī)測(cè)速裝置,包括底板,所述底板的上端設(shè)有風(fēng)機(jī)電機(jī),所述底板的上端固定設(shè)有立板,所述立板的一端與風(fēng)機(jī)電機(jī)通過(guò)螺栓配合連接,所述風(fēng)機(jī)電機(jī)的一端設(shè)有控制線,所述控制線的一端設(shè)有變頻器,所述變頻器的一端設(shè)有控制板,通過(guò)控制板調(diào)節(jié)參數(shù),所述底板的上端固定設(shè)有支盤(pán),所述支盤(pán)的上端設(shè)有監(jiān)測(cè)件,所述監(jiān)測(cè)件的一端設(shè)有數(shù)據(jù)線,所述數(shù)據(jù)線的一端設(shè)有顯示屏,所述顯示屏的一端設(shè)有報(bào)警線,所述報(bào)警線的一端設(shè)有報(bào)警器。
3、優(yōu)選地,所述風(fēng)機(jī)電機(jī)的上端轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)有驅(qū)動(dòng)柱,所述驅(qū)動(dòng)柱的外表面套接有四個(gè)第一限制盤(pán),相鄰的兩個(gè)所述第一限制盤(pán)的之間固定設(shè)有驅(qū)動(dòng)盤(pán),第一限制盤(pán)和驅(qū)動(dòng)盤(pán)呈交替分布,所述支盤(pán)的上端轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)有從動(dòng)軸,所述從動(dòng)軸的外表面套接頭四個(gè)第二限制盤(pán),所述第二限制盤(pán)的半徑為第一限制盤(pán)半徑的二分之三倍,且相鄰的兩個(gè)第二限制盤(pán)之間固定設(shè)有從動(dòng)盤(pán),位于同一高度的所述從動(dòng)盤(pán)和驅(qū)動(dòng)盤(pán)之間共同套接有傳動(dòng)帶,所述傳動(dòng)帶設(shè)有三個(gè),且三個(gè)傳動(dòng)帶呈上下等間距分布,位于最上方的所述第二限制盤(pán)的上端一側(cè)固定設(shè)有探測(cè)件,所述探測(cè)件與監(jiān)測(cè)件配合使用。
4、優(yōu)選地,所述支盤(pán)的外表面一側(cè)通過(guò)螺栓配合連接有連接板,所述連接板的上端固定設(shè)有安裝板,所述安裝板的內(nèi)壁通過(guò)螺栓配合連接有放置板,安裝板和放置板的形狀為l形,所述放置板的兩側(cè)內(nèi)壁均開(kāi)設(shè)有四個(gè)呈上下等間距分布的螺紋槽,所述探測(cè)件與放置板貫穿連接,所述探測(cè)件的外表面有套接有固定盤(pán),且固定盤(pán)與放置板的一側(cè)內(nèi)壁固定連接。
5、與現(xiàn)有技術(shù)相比,本實(shí)用新型的有益效果在于:
6、1、本實(shí)用新型通過(guò)監(jiān)測(cè)件,在其中的探測(cè)件和報(bào)警器的作用下,底板作為放置和連接各個(gè)結(jié)構(gòu)的載體,風(fēng)機(jī)電機(jī)驅(qū)動(dòng)退火爐的風(fēng)機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng),變頻器通過(guò)控制線控制風(fēng)機(jī)電機(jī)速度從而帶動(dòng)風(fēng)機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng),支盤(pán)上的監(jiān)測(cè)件,可以測(cè)定速度,并顯示在新加裝的顯示屏上面,并通過(guò)報(bào)警線連接報(bào)警器,出現(xiàn)速度低于一定值就會(huì)引發(fā)報(bào)警器報(bào)警并可以直觀在顯示屏上觀察情況,減少了工作人員的工作量,并能第一時(shí)間判斷問(wèn)題,保證了退火工藝的正常進(jìn)行,對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量的優(yōu)化控制很重要,探測(cè)件不斷的做圓周運(yùn)動(dòng),配合監(jiān)測(cè)件對(duì)轉(zhuǎn)速進(jìn)行監(jiān)測(cè),設(shè)有測(cè)速裝置,可以有效的保護(hù)風(fēng)機(jī)的正常運(yùn)作,從而達(dá)到提高加工產(chǎn)品的質(zhì)量的效果;
7、2、本實(shí)用新型通過(guò)連接板,在其中的安裝板和放置板的作用下,探測(cè)件安裝在放置板上,而放置板通過(guò)安裝板固定在連接板上,連接板又與支盤(pán)通過(guò)螺栓固定連接,這樣實(shí)現(xiàn)了探測(cè)件安裝的便利性和牢固性,通過(guò)多個(gè)螺紋槽使得可以方便的對(duì)探測(cè)件的高度進(jìn)行調(diào)試,通過(guò)固定盤(pán)提高了探測(cè)件的安裝牢固性,監(jiān)測(cè)結(jié)構(gòu)便于進(jìn)行安裝,從而達(dá)到泛用性較高的效果。
1.一種風(fēng)機(jī)測(cè)速裝置,包括底板(1),其特征在于:所述底板(1)的上端設(shè)有風(fēng)機(jī)電機(jī)(2),所述風(fēng)機(jī)電機(jī)(2)的一端設(shè)有控制線(32),所述控制線(32)的一端設(shè)有變頻器(3),所述變頻器(3)的一端設(shè)有控制板(31),所述底板(1)的上端固定設(shè)有支盤(pán)(4),所述支盤(pán)(4)的上端設(shè)有監(jiān)測(cè)件(5),所述監(jiān)測(cè)件(5)的一端設(shè)有數(shù)據(jù)線(61),所述數(shù)據(jù)線(61)的一端設(shè)有顯示屏(6),所述顯示屏(6)的一端設(shè)有報(bào)警線(71),所述報(bào)警線(71)的一端設(shè)有報(bào)警器(7)。
2.如權(quán)利要求1所述的一種風(fēng)機(jī)測(cè)速裝置,其特征在于:所述風(fēng)機(jī)電機(jī)(2)的上端轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)有驅(qū)動(dòng)柱(21),所述驅(qū)動(dòng)柱(21)的外表面套接有四個(gè)第一限制盤(pán)(22),相鄰的兩個(gè)所述第一限制盤(pán)(22)的之間固定設(shè)有驅(qū)動(dòng)盤(pán)(23),所述支盤(pán)(4)的上端轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)有從動(dòng)軸(41),所述從動(dòng)軸(41)的外表面套接頭四個(gè)第二限制盤(pán)(42),且相鄰的兩個(gè)第二限制盤(pán)(42)之間固定設(shè)有從動(dòng)盤(pán)(43),位于同一高度的所述從動(dòng)盤(pán)(43)和驅(qū)動(dòng)盤(pán)(23)之間共同套接有傳動(dòng)帶(24),位于最上方的所述第二限制盤(pán)(42)的上端一側(cè)固定設(shè)有探測(cè)件(51),所述探測(cè)件(51)與監(jiān)測(cè)件(5)配合使用。
3.如權(quán)利要求2所述的一種風(fēng)機(jī)測(cè)速裝置,其特征在于:所述支盤(pán)(4)的外表面一側(cè)通過(guò)螺栓配合連接有連接板(52),所述連接板(52)的上端固定設(shè)有安裝板(53),所述安裝板(53)的內(nèi)壁通過(guò)螺栓配合連接有放置板(54),所述探測(cè)件(51)與放置板(54)貫穿連接。
4.如權(quán)利要求1所述的一種風(fēng)機(jī)測(cè)速裝置,其特征在于:所述底板(1)的上端固定設(shè)有立板(25),所述立板(25)的一端與風(fēng)機(jī)電機(jī)(2)通過(guò)螺栓配合連接。
5.如權(quán)利要求2所述的一種風(fēng)機(jī)測(cè)速裝置,其特征在于:所述傳動(dòng)帶(24)設(shè)有三個(gè),且三個(gè)傳動(dòng)帶(24)呈上下等間距分布。
6.如權(quán)利要求2所述的一種風(fēng)機(jī)測(cè)速裝置,其特征在于:所述第二限制盤(pán)(42)的半徑為第一限制盤(pán)(22)半徑的二分之三倍。
7.如權(quán)利要求3所述的一種風(fēng)機(jī)測(cè)速裝置,其特征在于:所述放置板(54)的兩側(cè)內(nèi)壁均開(kāi)設(shè)有四個(gè)呈上下等間距分布的螺紋槽(55)。
8.如權(quán)利要求3所述的一種風(fēng)機(jī)測(cè)速裝置,其特征在于:所述探測(cè)件(51)的外表面有套接有固定盤(pán)(56),且固定盤(pán)(56)與放置板(54)的一側(cè)內(nèi)壁固定連接。