技術(shù)編號：40565965
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本技術(shù)涉及晶圓磨削機，更具體地說，涉及一種浮動與吸附控制氣路及其氣浮裝置。背景技術(shù)、在晶圓磨削過程中，我們所有的工作臺需要進行切換，但切換的轉(zhuǎn)盤較為龐大，重量高達kg，此時使用電機轉(zhuǎn)動將會十分費力，同時由于重量過大也無法通過使用導軌等方案完成轉(zhuǎn)動。同時我們在晶圓磨削過程中，需要保證轉(zhuǎn)臺穩(wěn)定不發(fā)生擺動。、目前轉(zhuǎn)臺的轉(zhuǎn)動主要依靠軸承，轉(zhuǎn)臺各部分主要存在懸空狀態(tài)，同時在晶圓磨削過程中也無法穩(wěn)定固定轉(zhuǎn)臺，主要是因為轉(zhuǎn)臺重量過重，只能使其周圍進行懸浮，但這樣會導致轉(zhuǎn)臺不穩(wěn)定從而造成轉(zhuǎn)臺傾斜，導致...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。