本技術(shù)涉及晶圓磨削機(jī)，更具體地說(shuō)，涉及一種浮動(dòng)與吸附控制氣路及其氣浮裝置。

背景技術(shù)：

1、在晶圓磨削過程中，我們所有的工作臺(tái)需要進(jìn)行切換，但切換的轉(zhuǎn)盤較為龐大，重量高達(dá)250kg，此時(shí)使用電機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)將會(huì)十分費(fèi)力，同時(shí)由于重量過大也無(wú)法通過使用導(dǎo)軌等方案完成轉(zhuǎn)動(dòng)。同時(shí)我們?cè)诰A磨削過程中，需要保證轉(zhuǎn)臺(tái)穩(wěn)定不發(fā)生擺動(dòng)。

2、目前轉(zhuǎn)臺(tái)的轉(zhuǎn)動(dòng)主要依靠軸承，轉(zhuǎn)臺(tái)各部分主要存在懸空狀態(tài)，同時(shí)在晶圓磨削過程中也無(wú)法穩(wěn)定固定轉(zhuǎn)臺(tái)，主要是因?yàn)檗D(zhuǎn)臺(tái)重量過重，只能使其周圍進(jìn)行懸浮，但這樣會(huì)導(dǎo)致轉(zhuǎn)臺(tái)不穩(wěn)定從而造成轉(zhuǎn)臺(tái)傾斜，導(dǎo)致零件損傷，后期晶圓研磨機(jī)性能不穩(wěn)定。

3、在晶圓研磨過程中，由于磨輪高速旋轉(zhuǎn)將會(huì)產(chǎn)生巨大的徑向力，而晶圓在轉(zhuǎn)臺(tái)上工作也會(huì)旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生徑向力，此時(shí)如果轉(zhuǎn)臺(tái)不進(jìn)行固定將會(huì)造成轉(zhuǎn)臺(tái)震動(dòng)偏移從而影響晶圓表面磨削質(zhì)量。

4、因此，如何解決現(xiàn)有的晶圓磨削時(shí)轉(zhuǎn)臺(tái)無(wú)法進(jìn)行固定以及無(wú)法切換晶圓磨削工作臺(tái)的問題，是目前本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的問題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、有鑒于此，本實(shí)用新型的目的是提供一種浮動(dòng)與吸附控制氣路，通過控制氣路對(duì)晶圓磨削時(shí)的轉(zhuǎn)臺(tái)進(jìn)行固定。

2、本實(shí)用新型的另一目的是提供一種包括上述浮動(dòng)與吸附控制氣路的氣浮裝置，通過氣浮導(dǎo)軌將轉(zhuǎn)臺(tái)浮起，以使轉(zhuǎn)臺(tái)在轉(zhuǎn)動(dòng)過程中不受摩擦力作用，在電機(jī)帶動(dòng)下完成工作臺(tái)的切換。

3、為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：

4、一種浮動(dòng)與吸附控制氣路，包括：

5、氣源三聯(lián)件，氣源三聯(lián)件的輸入端與氣源接通，氣源三聯(lián)件的輸出端通過真空管道與氣浮導(dǎo)軌組接通，真空管道上設(shè)有調(diào)壓組件和閥體，調(diào)壓組件用于調(diào)節(jié)氣源三聯(lián)件處理后的氣體的壓力，閥體用于控制氣路的不同壓力狀態(tài)，以使氣路交替切換正壓狀態(tài)和負(fù)壓狀態(tài)；

6、真空組件，并聯(lián)于真空管道，真空組件的輸入端與氣源三聯(lián)件的輸出端連接，真空組件的輸出端與閥體的另一個(gè)端口連接；

7、流量調(diào)節(jié)組件，設(shè)于真空管道，流量調(diào)節(jié)組件的輸入端與閥體的輸出端連接，流量調(diào)節(jié)組件的輸出端與氣浮導(dǎo)軌組連接。

8、優(yōu)選的，真空組件包括：

9、空氣電磁閥，空氣電磁閥的輸入端與氣源三聯(lián)件的輸出端連接；

10、真空發(fā)生器，真空發(fā)生器的輸入端與空氣電磁閥的輸出端連接，真空發(fā)生器的輸出端與閥體的另一個(gè)端口連接。

11、優(yōu)選的，流量調(diào)節(jié)組件包括至少三組電子空氣流量計(jì)，任意一組電子空氣流量計(jì)與對(duì)應(yīng)的流量調(diào)節(jié)器連接，氣浮導(dǎo)軌組包括至少三個(gè)氣浮導(dǎo)軌，電子空氣流量計(jì)與氣浮導(dǎo)軌一一對(duì)應(yīng)連接。

12、優(yōu)選的，真空管道上設(shè)有微霧分離器，微霧分離器位于閥體與電子空氣流量計(jì)之間。

13、優(yōu)選的，調(diào)壓組件包括壓力表和和調(diào)壓閥，調(diào)壓閥位于氣源三聯(lián)件與閥體之間，壓力表位于閥體與微霧分離器之間。

14、優(yōu)選的，空氣電磁閥為常閉電磁閥。

15、一種氣浮裝置，包括上述任意一項(xiàng)的浮動(dòng)與吸附控制氣路，氣浮裝置包括：

16、機(jī)架，機(jī)架具有圓柱狀的氣浮臺(tái)，氣浮臺(tái)的頂端均勻設(shè)有氣浮導(dǎo)軌，氣浮導(dǎo)軌的頂部設(shè)有對(duì)應(yīng)的氣浮塊；

17、轉(zhuǎn)臺(tái)，套設(shè)于氣浮臺(tái)中部的固定軸上，轉(zhuǎn)臺(tái)的底端面與氣浮塊的頂端面抵接，轉(zhuǎn)臺(tái)的頂部設(shè)有用于安裝工作臺(tái)的卡接槽；

18、驅(qū)動(dòng)裝置，設(shè)于機(jī)架，驅(qū)動(dòng)裝置用于驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)臺(tái)沿固定軸的軸向轉(zhuǎn)動(dòng)。

19、優(yōu)選的，驅(qū)動(dòng)裝置包括：

20、電機(jī)，設(shè)于機(jī)架；

21、傳動(dòng)輪，與電機(jī)的輸出端連接；

22、同步帶，繞設(shè)于轉(zhuǎn)臺(tái)和傳動(dòng)輪的外周，以使同步帶在傳動(dòng)輪與轉(zhuǎn)臺(tái)之間形成閉合的回路。

23、優(yōu)選的，固定軸的外周設(shè)有軸承，轉(zhuǎn)臺(tái)套設(shè)于軸承的外周，軸承通過鎖緊件壓緊于固定軸。

24、優(yōu)選的，機(jī)架上設(shè)有導(dǎo)向結(jié)構(gòu)，導(dǎo)向結(jié)構(gòu)用于限制同步帶的運(yùn)動(dòng)。

25、本實(shí)用新型提供的浮動(dòng)與吸附控制氣路包括氣源三聯(lián)件、氣浮導(dǎo)軌組、調(diào)壓組件、閥體、真空組件和流量調(diào)節(jié)組件，具體來(lái)說(shuō)，氣源三聯(lián)件的輸入端與氣源接通，氣源為常開狀態(tài)，以使氣路始終通暢，通過氣源三聯(lián)件可以對(duì)氣源輸出的空氣進(jìn)行初步的處理，氣源三聯(lián)件的輸出端通過真空管道與氣浮導(dǎo)軌組接通，真空管道上設(shè)有調(diào)壓組件和閥體，調(diào)壓組件用于調(diào)節(jié)氣源三聯(lián)件處理后的氣體的壓力，閥體用于控制氣路的不同壓力狀態(tài)，以使氣路交替切換正壓狀態(tài)和負(fù)壓狀態(tài)，通過調(diào)壓組件對(duì)經(jīng)過氣源三聯(lián)件初步處理的空氣進(jìn)行調(diào)壓，并通過真空管道輸出給氣浮導(dǎo)軌組。

26、流量調(diào)節(jié)組件設(shè)于真空管道，流量調(diào)節(jié)組件的輸入端與閥體的輸出端連接，流量調(diào)節(jié)組件的輸出端與氣浮導(dǎo)軌組連接，通過流量調(diào)節(jié)組件可以顯示并調(diào)節(jié)真空管道內(nèi)空氣的流量，真空組件并聯(lián)于真空管道，真空組件的輸入端與氣源三聯(lián)件的輸出端連接，真空組件的輸出端與閥體的另一個(gè)端口連接，通過設(shè)置閥體實(shí)現(xiàn)對(duì)氣路正壓和負(fù)壓狀態(tài)的切換，當(dāng)閥體控制氣路切換為負(fù)壓狀態(tài)，可以使氣浮導(dǎo)軌組對(duì)其上的轉(zhuǎn)臺(tái)進(jìn)行吸附，當(dāng)閥體控制氣路切換為正壓狀態(tài)，可以使轉(zhuǎn)臺(tái)浮動(dòng)在氣浮導(dǎo)軌組，通過流量調(diào)節(jié)組件調(diào)節(jié)氣體的流量，以控制轉(zhuǎn)臺(tái)在氣浮導(dǎo)軌組上浮動(dòng)的高度。

27、采用上述方式設(shè)置的浮動(dòng)與吸附控制氣路，具有兩種交替使用的工作狀態(tài)，通過閥體的控制，使氣路自由切換正壓狀態(tài)和負(fù)壓狀態(tài)，以使轉(zhuǎn)臺(tái)能夠浮動(dòng)和被吸附在氣浮導(dǎo)軌組上，當(dāng)閥體控制氣路切換為負(fù)壓狀態(tài)后，轉(zhuǎn)臺(tái)被吸附在氣浮導(dǎo)軌組上，從而實(shí)現(xiàn)磨削晶圓時(shí)轉(zhuǎn)臺(tái)的固定。

技術(shù)特征：

1.一種浮動(dòng)與吸附控制氣路，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的浮動(dòng)與吸附控制氣路，其特征在于，所述真空組件（5）包括：

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的浮動(dòng)與吸附控制氣路，其特征在于，所述流量調(diào)節(jié)組件（6）包括至少三組電子空氣流量計(jì)，任意一組所述電子空氣流量計(jì)與對(duì)應(yīng)的流量調(diào)節(jié)器連接，所述氣浮導(dǎo)軌組（2）包括至少三個(gè)氣浮導(dǎo)軌，所述電子空氣流量計(jì)與所述氣浮導(dǎo)軌一一對(duì)應(yīng)連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的浮動(dòng)與吸附控制氣路，其特征在于，所述真空管道上設(shè)有微霧分離器（7），所述微霧分離器（7）位于所述閥體（4）與所述電子空氣流量計(jì)之間。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的浮動(dòng)與吸附控制氣路，其特征在于，所述調(diào)壓組件（3）包括調(diào)壓閥（31）和壓力表（32），所述調(diào)壓閥（31）位于所述氣源三聯(lián)件（1）與所述閥體（4）之間，所述壓力表（32）位于所述閥體（4）與所述微霧分離器（7）之間。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的浮動(dòng)與吸附控制氣路，其特征在于，所述空氣電磁閥（51）為常閉電磁閥。

7.一種氣浮裝置，其特征在于，包括權(quán)利要求1-6任意一項(xiàng)所述的浮動(dòng)與吸附控制氣路，所述氣浮裝置包括：

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的氣浮裝置，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)裝置（13）包括：

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的氣浮裝置，其特征在于，所述固定軸（12）的外周設(shè)有軸承（14），所述轉(zhuǎn)臺(tái)（11）套設(shè)于所述軸承（14）的外周，所述軸承（14）通過鎖緊件（15）壓緊于所述固定軸（12）。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的氣浮裝置，其特征在于，所述機(jī)架（8）上設(shè)有導(dǎo)向結(jié)構(gòu)（16），所述導(dǎo)向結(jié)構(gòu)（16）用于限制所述同步帶（133）的運(yùn)動(dòng)。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)公開了一種浮動(dòng)與吸附控制氣路及其氣浮裝置，涉及晶圓磨削機(jī)技術(shù)領(lǐng)域，為了解決現(xiàn)有的晶圓磨削時(shí)轉(zhuǎn)臺(tái)無(wú)法進(jìn)行固定以及無(wú)法切換晶圓磨削工作臺(tái)的問題，氣源三聯(lián)件的輸入端與氣源接通，氣源三聯(lián)件的輸出端通過真空管道與氣浮導(dǎo)軌組接通，真空管道上設(shè)有調(diào)壓組件和閥體，調(diào)壓組件用于調(diào)節(jié)氣源三聯(lián)件處理后的氣體的壓力，閥體用于控制氣路的不同壓力狀態(tài)，以使氣路交替切換正壓狀態(tài)和負(fù)壓狀態(tài)，真空組件并聯(lián)于真空管道，真空組件的輸入端與氣源三聯(lián)件的輸出端連接，真空組件的輸出端與閥體的另一個(gè)端口連接，流量調(diào)節(jié)組件設(shè)于真空管道，流量調(diào)節(jié)組件的輸入端與閥體的輸出端連接，流量調(diào)節(jié)組件的輸出端與氣浮導(dǎo)軌組連接。

技術(shù)研發(fā)人員：武永超,呂鵬,劉海明,王琦,趙偉康
受保護(hù)的技術(shù)使用者：光力瑞弘電子科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240428
技術(shù)公布日：2025/1/2