技術編號：40543089
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本申請涉及集成電路裝備制造，具體而言，涉及一種反射鏡調節(jié)裝置及運動臺定位裝置。背景技術、在半導體運動臺系統(tǒng)中，為了實現(xiàn)對運動臺的精確控制和測量，通常會采用激光干涉儀進行三個方向（x、y、z軸）的位置精密測量。這種測量技術對于保證運動臺在水平方向（x軸和y軸，通常被定義為投影物鏡的光軸方向）的精確定位至關重要。在這種系統(tǒng)中，激光干涉儀的水平方向光束被反射到測量框架下的水平向反射鏡上，再經(jīng)反射沿原光路返回干涉儀，參考光束直接返回干涉儀，因此，反射鏡的位置姿態(tài)會影響運動測量的準確性和精確度。、現(xiàn)有...
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