本技術(shù)涉及集成電路裝備制造，具體而言，涉及一種反射鏡調(diào)節(jié)裝置及運(yùn)動(dòng)臺定位裝置。

背景技術(shù)：

1、在半導(dǎo)體運(yùn)動(dòng)臺系統(tǒng)中，為了實(shí)現(xiàn)對運(yùn)動(dòng)臺的精確控制和測量，通常會(huì)采用激光干涉儀進(jìn)行三個(gè)方向（x、y、z軸）的位置精密測量。這種測量技術(shù)對于保證運(yùn)動(dòng)臺在水平方向（x軸和y軸，通常被定義為投影物鏡的光軸方向）的精確定位至關(guān)重要。在這種系統(tǒng)中，激光干涉儀的水平方向光束被反射到測量框架下的水平向反射鏡上，再經(jīng)反射沿原光路返回干涉儀，參考光束直接返回干涉儀，因此，反射鏡的位置姿態(tài)會(huì)影響運(yùn)動(dòng)測量的準(zhǔn)確性和精確度。

2、現(xiàn)有的技術(shù)中，在運(yùn)動(dòng)臺上安裝反射鏡時(shí)，確定安裝位置后，將反射鏡安裝至對應(yīng)位置即可，反射鏡在運(yùn)動(dòng)臺的高加減速下可能無法長期保持自身姿態(tài)，影響測量精度，且激光照射到反射鏡上會(huì)帶來熱應(yīng)力，產(chǎn)生的熱變形也會(huì)影響測量精度。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本技術(shù)的目的在于提供一種反射鏡調(diào)節(jié)裝置及運(yùn)動(dòng)臺定位裝置，其中，反射鏡調(diào)節(jié)裝置能夠?qū)崿F(xiàn)對反射鏡位姿的多自由度微量精確調(diào)整，有助于解決反射鏡在高加減速下保持自身姿態(tài)，以及激光熱源導(dǎo)致的反射鏡熱變形問題，提升反射鏡的位姿準(zhǔn)確度，進(jìn)一步保證激光干涉儀測量時(shí)不丟光，提高運(yùn)動(dòng)臺定位精度。

2、第一方面，本技術(shù)提供的反射鏡調(diào)節(jié)裝置，包括支架座、第一柔性件、第一調(diào)整組件、第二柔性件、第二調(diào)整組件和反射鏡。

3、其中，支架座包括第一端和第二端，第一端至第二端之間設(shè)置安裝面；定義支架座的延伸方向?yàn)閙方向，垂直于m方向且平行于支架座安裝面的方向?yàn)閚方向，垂直于安裝面的方向?yàn)閦方向，圍繞m方向軸線旋轉(zhuǎn)的方向?yàn)閞m方向，圍繞n方向軸線旋轉(zhuǎn)的方向?yàn)閞n方向，圍繞z方向軸線旋轉(zhuǎn)的方向?yàn)閞z方向。

4、第一柔性件安裝于支架座的安裝面并靠近第一端；第一柔性件具有相對支架座發(fā)生沿rm方向運(yùn)動(dòng)的柔性以及沿n方向運(yùn)動(dòng)的柔性。第一調(diào)整組件安裝在第一柔性件上，用于調(diào)整第一柔性件沿n方向的位移量及沿rm方向的旋轉(zhuǎn)量。

5、第二柔性件安裝于支架座的安裝面并靠近第二端；第二柔性件具有相對支架座發(fā)生沿rm方向運(yùn)動(dòng)的柔性。第二調(diào)整組件，安裝在第二柔性件上，用于調(diào)整第二柔性件沿rm方向的旋轉(zhuǎn)量。反射鏡呈條形結(jié)構(gòu)，其一端安裝于第一柔性件，另一端安裝于第二柔性件，反射鏡的反射面沿m方向延伸。

6、在一種可實(shí)施的方案中，第一柔性件包括外框、a基板、a支撐板、a1柔性連接結(jié)構(gòu)、a2柔性連接結(jié)構(gòu)。外框安裝在支架座的安裝面上，a基板置于外框內(nèi)側(cè)，a基板沿m方向的一端通過a1柔性連接結(jié)構(gòu)連接外框內(nèi)側(cè)，a支撐板處于a基板上側(cè)，且a支撐板的底面中部位置通過a2柔性連接結(jié)構(gòu)連接至a基板上表面的中部位置；其中，a1柔性連接結(jié)構(gòu)使a基板具有相對外框發(fā)生沿n方向運(yùn)動(dòng)的柔性，a2柔性連接結(jié)構(gòu)使a支撐板具有相對a基板發(fā)生rm方向運(yùn)動(dòng)的柔性。

7、在一種可實(shí)施的方案中，第一調(diào)整組件包括兩個(gè)a1頂持件和兩個(gè)a2頂持件。在a基板的n方向兩側(cè)對應(yīng)的外框上分別安裝一a1頂持件，且a1頂持件可沿n方向進(jìn)行進(jìn)給運(yùn)動(dòng)，兩個(gè)a1頂持件分別頂持在a基板的n方向的兩側(cè)壁。兩個(gè)a2頂持件沿z方向從背離a支撐板的一側(cè)穿過a基板，且兩個(gè)a2頂持件可沿z方向進(jìn)行進(jìn)給運(yùn)動(dòng)，并頂持在a支撐板底面上，兩個(gè)a2頂持件處于a2柔性連接結(jié)構(gòu)沿n方向的兩側(cè)。

8、在一種可實(shí)施的方案中，反射鏡調(diào)節(jié)裝置包括a驅(qū)動(dòng)裝置，每個(gè)a2頂持件的底端側(cè)連接一a驅(qū)動(dòng)裝置，a驅(qū)動(dòng)裝置用于分別驅(qū)動(dòng)a2頂持件沿z方向進(jìn)給。

9、在一種可實(shí)施的方案中，外框呈u型結(jié)構(gòu)，a基板置于外框內(nèi)側(cè)并靠近u型結(jié)構(gòu)的開口側(cè)。第一柔性件還包括a1扭簧，a1扭簧的中部彈簧端安裝在外框上，a1扭簧的兩末端分別連接至u型結(jié)構(gòu)的開口兩側(cè)，以給于u型結(jié)構(gòu)的開口兩側(cè)相互靠近的作用力。第一柔性件還包括a2扭簧，a2扭簧的中部彈簧端安裝在a基板上，a2扭簧的兩末端分別連接至a支撐板沿n方向的兩側(cè)，以給于a支撐板沿n方向的兩側(cè)向a基板上表面靠近的作用力。

10、在一種可實(shí)施的方案中，第二柔性件包括b基板、b支撐板、b柔性連接結(jié)構(gòu)。b基板安裝在支架座的安裝面上，b支撐板處于b基板上側(cè)，且b支撐板的底面中部位置通過b柔性連接結(jié)構(gòu)連接至b基板上表面的中部位置。其中，b柔性連接結(jié)構(gòu)使b支撐板具有相對b基板發(fā)生rm方向運(yùn)動(dòng)的柔性。第二調(diào)整組件包括兩個(gè)b頂持件，兩個(gè)b頂持件沿z方向從背離b支撐板的一側(cè)穿過b基板，且兩個(gè)b頂持件可沿z方向進(jìn)行進(jìn)給運(yùn)動(dòng)，并頂持在b支撐板底面上，兩個(gè)b頂持件處于b柔性連接結(jié)構(gòu)沿n方向的兩側(cè)。

11、在一種可實(shí)施的方案中，反射鏡調(diào)節(jié)裝置包括b驅(qū)動(dòng)裝置，每個(gè)b頂持件的底端側(cè)連接一b驅(qū)動(dòng)裝置，b驅(qū)動(dòng)裝置用于分別驅(qū)動(dòng)b頂持件沿z方向進(jìn)給。

12、在一種可實(shí)施的方案中，第二柔性件還包括b扭簧，b扭簧的中部彈簧端安裝在b支撐板上，b扭簧的兩末端分別連接至b支撐板沿n方向的兩側(cè)，以給于b支撐板沿n方向的兩側(cè)向b基板上表面靠近的作用力。

13、在一種可實(shí)施的方案中，反射鏡調(diào)節(jié)裝置包括總驅(qū)動(dòng)裝置，處于同一n方向坐標(biāo)位置的a2頂持件和b頂持件的底端側(cè)連接同一個(gè)總驅(qū)動(dòng)裝置，總驅(qū)動(dòng)裝置用于驅(qū)動(dòng)處于沿n方向同一側(cè)的a2頂持件和b頂持件沿z方向同時(shí)進(jìn)給。

14、在一種可實(shí)施的方案中，反射鏡調(diào)節(jié)裝置包括a差速結(jié)構(gòu)和b差速結(jié)構(gòu)，對于處于同一n方向坐標(biāo)位置的a2頂持件和b頂持件中，a2頂持件通過a差速結(jié)構(gòu)與總驅(qū)動(dòng)裝置連接，b頂持件通過b差速結(jié)構(gòu)與總驅(qū)動(dòng)裝置連接。其中，總驅(qū)動(dòng)裝置的輸出量，由a差速結(jié)構(gòu)和b差速結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)化為a2頂持件和b頂持件沿z方向不同的進(jìn)給量。

15、在一種可實(shí)施的方案中，反射鏡調(diào)節(jié)裝置還包括殷鋼座，在第一柔性件表面及第二柔性件表面各安裝殷鋼座，反射鏡安裝于殷鋼座上。反射鏡調(diào)節(jié)裝置還包括锳片，在第一柔性件與殷鋼座之間設(shè)置锳片，在第二柔性件與殷鋼座之間設(shè)置锳片。

16、在一種可實(shí)施的方案中，支架座包括底板和設(shè)置于底板上并由第一端至第二端延伸的立板結(jié)構(gòu)。反射鏡調(diào)節(jié)裝置還包括至少一個(gè)預(yù)緊力件，預(yù)緊力件一端安裝在立板結(jié)構(gòu)頂側(cè)，另一端壓在反射鏡的頂面。預(yù)緊力件為一簧片結(jié)構(gòu)，簧片結(jié)構(gòu)壓在反射鏡一側(cè)的表面設(shè)置凸點(diǎn)結(jié)構(gòu)。預(yù)緊力件與反射鏡之間設(shè)置彈性墊片。

17、在一種可實(shí)施的方案中，反射鏡調(diào)節(jié)裝置還包括第三調(diào)整組件，第三調(diào)整組件安裝在立板結(jié)構(gòu)上；第三調(diào)整組件包括至少兩個(gè)c頂持件；多個(gè)c頂持件沿m方向排列安裝在立板結(jié)構(gòu)上，c頂持件沿n方向穿過立板結(jié)構(gòu)，且c頂持件可沿n方向進(jìn)行進(jìn)給運(yùn)動(dòng)，并頂持在反射鏡背面。

18、第二方面，本技術(shù)提供的一種運(yùn)動(dòng)臺定位裝置，包括固定座和前述的兩個(gè)反射鏡調(diào)節(jié)裝置。固定座具有沿相互垂直的x方向和y方向延展的固定面，且定義垂直于固定面的方向?yàn)閦方向。兩個(gè)反射鏡調(diào)節(jié)裝置，分別稱為第一反射鏡調(diào)節(jié)裝置和第二反射鏡調(diào)節(jié)裝置。

19、其中，第一反射鏡調(diào)節(jié)裝置安裝在固定座的固定面上，第一反射鏡調(diào)節(jié)裝置的n方向與固定座的x方向重合，第一反射鏡調(diào)節(jié)裝置的m方向與固定座的y方向重合，第一反射鏡調(diào)節(jié)裝置的z方向與固定座的z方向重合。第二反射鏡調(diào)節(jié)裝置安裝在固定座的固定面上，第二反射鏡調(diào)節(jié)裝置的n方向與固定座的y方向重合，第二反射鏡調(diào)節(jié)裝置的m方向與固定座的x方向重合，第二反射鏡調(diào)節(jié)裝置的z方向與固定座的z方向重合。

20、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本技術(shù)的有益效果至少包括以下內(nèi)容。

21、本技術(shù)的技術(shù)方案設(shè)計(jì)一種反射鏡調(diào)節(jié)裝置，并借助第一調(diào)整組件對第一柔性件的調(diào)整作用，借助第二調(diào)整組件對第二柔性件的調(diào)整作用，至少實(shí)現(xiàn)了反射鏡沿n方向位移量以及沿rm方向旋轉(zhuǎn)量的多自由度微量且精確的調(diào)整，即至少實(shí)現(xiàn)了反射鏡相對激光干涉儀的距離及角度的微量精確調(diào)整。

22、本技術(shù)反射鏡調(diào)節(jié)裝置對反射鏡位姿的多自由度微量精確調(diào)整，有助于降低反射鏡的位姿調(diào)整難度，解決反射鏡在高加減速下長期保持自身姿態(tài)的問題，且有助于解決解決反射鏡的熱變形問題，提升反射鏡的位姿準(zhǔn)確度，進(jìn)一步保證激光干涉儀測量時(shí)不丟光，提高定位精度。