技術(shù)編號：40529683
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本申請涉及微電子，特別是涉及mems電容式壓力傳感器及其制備方法。背景技術(shù)、社會生產(chǎn)對于壓力的監(jiān)控需求十分巨大，對于工業(yè)、汽車等領(lǐng)域尤甚。微機(jī)電系統(tǒng)(mems，micro-electro-mechanical?system)壓力傳感器由于其體積小、性能高、可靠性強(qiáng)、成本低、易于量產(chǎn)、可移植性強(qiáng)等優(yōu)勢得到較好的產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用，在消費(fèi)電子、工業(yè)測控、航空航天、醫(yī)療器械、汽車制造有廣泛應(yīng)用，是mems傳感器市場化最成功的案例。、目前mems壓力傳感器的主流技術(shù)可以分為壓阻式和電容式，壓阻式利用了壓阻效...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。