技術(shù)編號(hào):40526886
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及射頻發(fā)射功率智能調(diào)控,具體而言,涉及一種通過(guò)預(yù)估負(fù)載容量進(jìn)行射頻發(fā)射功率調(diào)整方法及系統(tǒng)。背景技術(shù)、射頻電源系統(tǒng)是用于產(chǎn)生射頻功率信號(hào)的裝置,屬于半導(dǎo)體工藝設(shè)備的核心部件,所有產(chǎn)生等離子體進(jìn)行材料處理的設(shè)備都需要射頻電源系統(tǒng)提供能量。在集成電路、太陽(yáng)能電池和?led(light?emitting?diode,發(fā)光二極管)的工藝制造設(shè)備,例如刻蝕機(jī)、pvd(physical?vapor?deposition,物理氣相沉積)、pecvd(plasma?enhanced?chemical?v...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。