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一種通過(guò)預(yù)估負(fù)載容量進(jìn)行射頻發(fā)射功率調(diào)整方法及系統(tǒng)與流程技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):40526886

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本發(fā)明涉及射頻發(fā)射功率智能調(diào)控,具體而言,涉及一種通過(guò)預(yù)估負(fù)載容量進(jìn)行射頻發(fā)射功率調(diào)整方法及系統(tǒng)。背景技術(shù)、射頻電源系統(tǒng)是用于產(chǎn)生射頻功率信號(hào)的裝置,屬于半導(dǎo)體工藝設(shè)備的核心部件,所有產(chǎn)生等離子體進(jìn)行材料處理的設(shè)備都需要射頻電源系統(tǒng)提供能量。在集成電路、太陽(yáng)能電池和?led(light?emitting?diode,發(fā)光二極管)的工藝制造設(shè)備,例如刻蝕機(jī)、pvd(physical?vapor?deposition,物理氣相沉積)、pecvd(plasma?enhanced?chemical?v...
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