本發(fā)明涉及射頻發(fā)射功率智能調(diào)控，具體而言，涉及一種通過預(yù)估負載容量進行射頻發(fā)射功率調(diào)整方法及系統(tǒng)。

背景技術(shù)：

1、射頻電源系統(tǒng)是用于產(chǎn)生射頻功率信號的裝置，屬于半導(dǎo)體工藝設(shè)備的核心部件，所有產(chǎn)生等離子體進行材料處理的設(shè)備都需要射頻電源系統(tǒng)提供能量。在集成電路、太陽能電池和?led（light?emitting?diode，發(fā)光二極管）的工藝制造設(shè)備，例如刻蝕機、pvd（physical?vapor?deposition，物理氣相沉積）、pecvd（plasma?enhanced?chemical?vapordeposition，等離子體增強化學(xué)氣相沉積）、ald（atomic?layer?deposition，原子層沉積）等設(shè)備，均裝備有不同功率規(guī)格的射頻電源系統(tǒng)。

2、用于等離子體工藝的射頻電源系統(tǒng)一般包括有射頻功率發(fā)生器和阻抗匹配器。其中，射頻功率發(fā)生器用于產(chǎn)生具有一定功率等級和一定頻率的射頻信號，而阻抗匹配器放置在等離子體反應(yīng)腔室和射頻功率發(fā)生器之間，用于將等離子體反應(yīng)腔室所體現(xiàn)的負載阻抗與射頻功率發(fā)生器的輸出阻抗相匹配，以便將射頻功率發(fā)生器所產(chǎn)生的功率良好地輸送至等離子體腔室，從而激發(fā)足量的等離子體以實現(xiàn)工藝要求。

3、然而在實際中，射頻功率發(fā)生器的功率可調(diào)，但為了縮短調(diào)整的過程與時間，最好先行對負載的容量進行預(yù)估，從而將射頻功率發(fā)生器的起始值與預(yù)估的負載容量相匹配，如此在后續(xù)的調(diào)整過程中則只是微調(diào)，不需大幅度的調(diào)整，從而縮短調(diào)整時間；因此，急需設(shè)計一種負載容量的預(yù)測技術(shù)，以縮短射頻功率發(fā)生器的調(diào)整時間。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、為了解決上述問題，本發(fā)明提供了一種通過預(yù)估負載容量進行射頻發(fā)射功率調(diào)整方法，包括以下步驟：

2、先行建立達到預(yù)定真空度所需時間與負載容量的對應(yīng)表；

3、基于設(shè)置有若干組負載的執(zhí)行半導(dǎo)體處理工藝的反應(yīng)腔，進行真空抽取，確定達到預(yù)定真空度所需的時間；

4、根據(jù)所述的時間與所述的對應(yīng)表，預(yù)估負載容量；

5、基于負載容量，調(diào)整射頻電源系統(tǒng)的起始射頻發(fā)射功率。

6、優(yōu)選地，在先行建立達到預(yù)定真空度所需時間與負載容量的對應(yīng)表的過程中，通過在反應(yīng)腔中設(shè)置不同的負載容量，選擇反應(yīng)腔內(nèi)的第一反應(yīng)腔壓力作為基準值，設(shè)置第二反應(yīng)腔壓力作為參考值，從而通過獲取具有不同負載容量的反應(yīng)腔壓力從所述基準值變化到所述參考值的變化時間，從而建立達到預(yù)定真空度所需時間與負載容量的對應(yīng)表。

7、優(yōu)選地，在基于負載容量調(diào)整射頻電源系統(tǒng)的起始射頻發(fā)射功率的過程中，為根據(jù)預(yù)先設(shè)置的負載容量與射頻電源系統(tǒng)的射頻發(fā)射功率的對應(yīng)關(guān)系表進行確定。

8、優(yōu)選地，所述方法還包括在基于負載容量調(diào)整射頻電源系統(tǒng)的起始射頻發(fā)射功率之后進一步微調(diào)的步驟。

9、本發(fā)明提供了一種通過預(yù)估負載容量進行射頻發(fā)射功率調(diào)整系統(tǒng)，包括：

10、達到預(yù)定真空度所需時間與負載容量的對應(yīng)表設(shè)立模塊，用以通過在反應(yīng)腔中設(shè)置不同的負載容量，選擇反應(yīng)腔內(nèi)的第一反應(yīng)腔壓力作為基準值，設(shè)置第二反應(yīng)腔壓力作為參考值，從而通過獲取具有不同負載容量的反應(yīng)腔壓力從所述基準值變化到所述參考值的變化時間，從而建立達到預(yù)定真空度所需時間與負載容量的對應(yīng)表；

11、達到預(yù)定真空度所需時間確定模塊，基于設(shè)置有若干組負載并執(zhí)行半導(dǎo)體處理工藝的反應(yīng)腔，進行真空抽取，確定達到預(yù)定真空度所需的時間；

12、預(yù)估負載容量模塊，根據(jù)達到預(yù)定真空度所需的時間與所述的達到預(yù)定真空度所需時間與負載容量的對應(yīng)表預(yù)估負載容量；

13、射頻發(fā)射功率調(diào)整模塊，基于負載容量，調(diào)整射頻電源系統(tǒng)的起始射頻發(fā)射功率。

14、優(yōu)選地，所述射頻發(fā)射功率調(diào)整模塊根據(jù)預(yù)先設(shè)置的負載容量與射頻電源系統(tǒng)的起始射頻發(fā)射功率的對應(yīng)關(guān)系表調(diào)整射頻電源系統(tǒng)的起始射頻發(fā)射功率。

15、本發(fā)明公開了以下技術(shù)效果：

16、本發(fā)明通過先行建立達到預(yù)定真空度所需時間與負載容量對應(yīng)表，通過將反應(yīng)腔進行真空抽取取得達到預(yù)定真空度所需的時間，進而通過上述對應(yīng)表確定負載容量，之后根據(jù)負載容量確定射頻發(fā)射裝置的起始功率，如此可以縮短射頻發(fā)射裝置的調(diào)整時間。

技術(shù)特征：

1.一種通過預(yù)估負載容量進行射頻發(fā)射功率調(diào)整方法，其特征在于所述方法包括以下步驟：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種通過預(yù)估負載容量進行射頻發(fā)射功率調(diào)整方法，其特征在于：

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述一種通過預(yù)估負載容量進行射頻發(fā)射功率調(diào)整方法，其特征在于：

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述一種通過預(yù)估負載容量進行射頻發(fā)射功率調(diào)整方法，其特征在于：

5.一種通過預(yù)估負載容量進行射頻發(fā)射功率調(diào)整系統(tǒng)，其特征在于，應(yīng)用于半導(dǎo)體處理工藝中，包括：

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述一種通過預(yù)估負載容量進行射頻發(fā)射功率調(diào)整系統(tǒng)，其特征在于：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種通過預(yù)估負載容量進行射頻發(fā)射功率調(diào)整方法及系統(tǒng)，屬于射頻發(fā)射功率智能調(diào)控技術(shù)領(lǐng)域，包括：先行建立達到預(yù)定真空度所需時間與負載容量的對應(yīng)表；基于設(shè)置有若干組負載的執(zhí)行半導(dǎo)體處理工藝的反應(yīng)腔，進行真空抽取，確定達到預(yù)定真空度所需的時間；根據(jù)所述的時間與所述的對應(yīng)表，預(yù)估負載容量；基于負載容量，調(diào)整射頻電源系統(tǒng)的射頻發(fā)射功率，如此本發(fā)明通過先行建立達到預(yù)定真空度所需時間與負載容量的對應(yīng)表，根據(jù)進行真空抽取時達到預(yù)定真空度所需的時間而確定負載容量，進而可以確定射頻發(fā)射裝置的起始功率，從而縮短射頻發(fā)射裝置的調(diào)整時間。

技術(shù)研發(fā)人員：鄭國,李培祥
受保護的技術(shù)使用者：上海衍梓智能科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/12/30