技術(shù)編號：40519763
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本技術(shù)涉及壓力傳感器芯體，特別是涉及一種具有過載保護的充油式壓力傳感器芯體。背景技術(shù)、通常mems類的硅壓力傳感器，由于半導體硅片無法直接和有腐蝕性或者有潮濕氣體的介質(zhì)直接接觸，通常會進行進一步的封裝，也就是將硅片封裝到金屬外殼和金屬彈性膜封閉的一個腔體里，并在這個腔體里和金屬彈性膜片之間填充硅油。這樣，這些有腐蝕性或者有潮濕氣體的介質(zhì)將直接接觸到能夠抵抗這類介質(zhì)的金屬彈性膜片材料上，通過金屬彈性膜片將壓力傳遞到硅油中，并通過硅油傳遞到硅片上去，這樣實現(xiàn)了壓力到半導體硅片上電阻的轉(zhuǎn)化，從而實現(xiàn)...
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