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測(cè)試系統(tǒng)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):40515342

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本公開(kāi)是關(guān)于一種測(cè)試系統(tǒng)。特別是關(guān)于一種具有清潔功能的測(cè)試系統(tǒng)。背景技術(shù)、半導(dǎo)體制造過(guò)程,需以探針卡對(duì)晶圓進(jìn)行測(cè)試,確保晶圓及晶片制程的可靠度,以過(guò)濾不良的晶圓及晶片。測(cè)試過(guò)程中,常需搭配不同測(cè)試溫度,以確認(rèn)晶圓在不同溫度下的穩(wěn)定性。而測(cè)試完畢時(shí),為避免影響后續(xù)測(cè)試精確度,通常會(huì)需要對(duì)測(cè)試探針進(jìn)行清潔,以利后續(xù)測(cè)試。其中,清潔過(guò)程的溫度與測(cè)試過(guò)程的溫度差異會(huì)顯著影響整體流程的效率。、舉例而言,于進(jìn)行清潔程序前,由于清潔裝置的溫度與測(cè)試探針的溫度間通常會(huì)具有相當(dāng)程度的差異,因此,會(huì)需要等待一段...
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