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一種降低石英坩堝鼓包率的堝邦裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):40508809

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本技術(shù)涉及單晶爐,具體涉及一種降低石英坩堝鼓包率的堝邦裝置。背景技術(shù)、單晶硅晶體是半導(dǎo)體材料中非常重要的一個(gè),廣泛應(yīng)用在太陽(yáng)能電池、集成電路、傳感器等領(lǐng)域。目前,生產(chǎn)單晶硅晶體主要采用直拉法,而直拉法需要使用到石英坩堝,在石英坩堝外套設(shè)有堝邦,通過(guò)對(duì)石英坩堝的加熱來(lái)生成單晶硅晶體。但是,所述石英坩堝受熱軟化后會(huì)緊貼于堝邦內(nèi)壁,不利于石英坩堝與堝邦之間的氣體排出,使氣體持續(xù)增加,導(dǎo)致石英坩堝出現(xiàn)鼓包,影響正常拉晶。技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路、本實(shí)用新型的目的是提供一種降低石英坩堝鼓包率的堝邦裝置,在堝邦本體...
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