技術(shù)編號：40471696
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本技術(shù)涉及石英花籃，特別是一種帶插桿的石英花籃。背景技術(shù)、濕法刻蝕工藝時裝裝載著晶圓片一同在溶液內(nèi)進(jìn)行工藝的石英裝置，通常情況下叫做“石英花籃”，目前晶圓片在花籃的擺放是垂直于液面的。、進(jìn)行王水濕法腐蝕工藝時，由于王水加熱時是通過對裝有王水溶液的石英缸的底部外壁用電加熱器加熱，這樣會導(dǎo)致石英缸內(nèi)的不同液面的溫度及狀態(tài)會有所差異。王水又極易揮發(fā)，會使不同液面深度的濃度會有微量差異。這樣用垂直放置晶圓片的花籃垂直放置晶圓片后浸泡在腐蝕液中，因濃度及溫度的差異，垂直放置晶圓片工藝后，用顯微鏡觀察發(fā)...
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