技術(shù)編號(hào)：40434177
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及控制裝置、控制方法、存儲(chǔ)介質(zhì)、控制系統(tǒng)、光刻裝置和制造物品的方法。背景技術(shù)、日本特開(kāi)第-號(hào)公報(bào)公開(kāi)了如下技術(shù)：在主控裝置與受控裝置之間可靠地發(fā)送/接收控制數(shù)據(jù)的同時(shí)，無(wú)延遲地發(fā)送/接收關(guān)于由受控裝置控制的單元中的異常的數(shù)據(jù)。、有時(shí)需要如下系統(tǒng)來(lái)獲得關(guān)于由受控裝置控制的單元的信息，該系統(tǒng)被構(gòu)造為以預(yù)定周期在主控裝置與受控裝置之間發(fā)送/接收數(shù)據(jù)。在這種情況下，由于除了控制數(shù)據(jù)之外還需要在主控裝置與受控裝置之間發(fā)送/接收用于單元的信息的數(shù)據(jù)，因此每周期發(fā)送/接收的數(shù)據(jù)...
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