本發(fā)明涉及控制裝置、控制方法、存儲(chǔ)介質(zhì)、控制系統(tǒng)、光刻裝置和制造物品的方法。

背景技術(shù)：

1、日本特開第2022-108621號(hào)公報(bào)公開了如下技術(shù)：在主控裝置與受控裝置之間可靠地發(fā)送/接收控制數(shù)據(jù)的同時(shí)，無延遲地發(fā)送/接收關(guān)于由受控裝置控制的單元中的異常的數(shù)據(jù)。

2、有時(shí)需要如下系統(tǒng)來獲得關(guān)于由受控裝置控制的單元的信息，該系統(tǒng)被構(gòu)造為以預(yù)定周期在主控裝置與受控裝置之間發(fā)送/接收數(shù)據(jù)。在這種情況下，由于除了控制數(shù)據(jù)之外還需要在主控裝置與受控裝置之間發(fā)送/接收用于單元的信息的數(shù)據(jù)，因此每周期發(fā)送/接收的數(shù)據(jù)量增加。

3、當(dāng)每周期發(fā)送/接收的數(shù)據(jù)量增加時(shí)，有時(shí)無法在一個(gè)周期(一個(gè)通信周期)內(nèi)完成數(shù)據(jù)的發(fā)送/接收，并且有時(shí)跨多個(gè)周期發(fā)送/接收數(shù)據(jù)。在這種情況下，跨多個(gè)周期執(zhí)行通常應(yīng)在一個(gè)周期內(nèi)執(zhí)行的受控裝置的處理，從而延遲了系統(tǒng)的操作。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本發(fā)明提供了有利于抑制在主控裝置與受控裝置之間的數(shù)據(jù)的發(fā)送/接收中的延遲的技術(shù)。

2、本發(fā)明在其第一方面中提供了一種控制裝置，其用于控制連接到網(wǎng)絡(luò)的多個(gè)節(jié)點(diǎn)，所述控制裝置包括：通信單元，其被構(gòu)造為經(jīng)由所述網(wǎng)絡(luò)以預(yù)定周期發(fā)送/接收數(shù)據(jù)幀，所述數(shù)據(jù)幀包括分別分配給所述節(jié)點(diǎn)的多個(gè)數(shù)據(jù)區(qū)域；以及設(shè)置單元，其被構(gòu)造為在第一周期中未使用所述多個(gè)數(shù)據(jù)區(qū)域中的、被安排(schedule)為第一節(jié)點(diǎn)的數(shù)據(jù)區(qū)域的第一數(shù)據(jù)區(qū)域的情況下，在所述第一周期中，分配所述第一數(shù)據(jù)區(qū)域作為與所述第一節(jié)點(diǎn)不同的第二節(jié)點(diǎn)的數(shù)據(jù)區(qū)域，其中，所述通信單元使所述第二節(jié)點(diǎn)在所述第一周期中讀出被寫入所述第一數(shù)據(jù)區(qū)域的響應(yīng)數(shù)據(jù)。

3、本發(fā)明在其第二方面中提供了一種控制連接到網(wǎng)絡(luò)的多個(gè)節(jié)點(diǎn)的控制方法，所述控制方法包括如下發(fā)送/接收步驟：經(jīng)由所述網(wǎng)絡(luò)以預(yù)定周期發(fā)送/接收數(shù)據(jù)幀，所述數(shù)據(jù)幀包括分別分配給所述節(jié)點(diǎn)的多個(gè)數(shù)據(jù)區(qū)域，其中，所述發(fā)送/接收步驟包括：在第一周期中未使用所述多個(gè)數(shù)據(jù)區(qū)域中的、被安排為第一節(jié)點(diǎn)的數(shù)據(jù)區(qū)域的第一數(shù)據(jù)區(qū)域的情況下，在所述第一周期中，分配所述第一數(shù)據(jù)區(qū)域作為與所述第一節(jié)點(diǎn)不同的第二節(jié)點(diǎn)的數(shù)據(jù)區(qū)域，并且所述第二節(jié)點(diǎn)在所述第一周期中讀出被寫入所述第一數(shù)據(jù)區(qū)域的響應(yīng)數(shù)據(jù)。

4、本發(fā)明在其第三方面中提供了一種計(jì)算機(jī)可讀存儲(chǔ)介質(zhì)，其存儲(chǔ)用于使計(jì)算機(jī)執(zhí)行控制連接到網(wǎng)絡(luò)的多個(gè)節(jié)點(diǎn)的控制方法的程序，所述程序包括用于使所述計(jì)算機(jī)執(zhí)行如下發(fā)送/接收步驟的指令：經(jīng)由所述網(wǎng)絡(luò)以預(yù)定周期發(fā)送/接收數(shù)據(jù)幀，所述數(shù)據(jù)幀包括分別分配給所述節(jié)點(diǎn)的多個(gè)數(shù)據(jù)區(qū)域，其中，所述發(fā)送/接收步驟包括：在第一周期中未使用所述多個(gè)數(shù)據(jù)區(qū)域中的、被安排為第一節(jié)點(diǎn)的數(shù)據(jù)區(qū)域的第一數(shù)據(jù)區(qū)域的情況下，在所述第一周期中，分配所述第一數(shù)據(jù)區(qū)域作為與所述第一節(jié)點(diǎn)不同的第二節(jié)點(diǎn)的數(shù)據(jù)區(qū)域，并且所述第二節(jié)點(diǎn)在所述第一周期中讀出被寫入所述第一數(shù)據(jù)區(qū)域的響應(yīng)數(shù)據(jù)。

5、本發(fā)明在其第四方面中提供了一種控制系統(tǒng)，其包括連接到網(wǎng)絡(luò)的多個(gè)節(jié)點(diǎn)以及被構(gòu)造為控制所述多個(gè)節(jié)點(diǎn)的控制裝置，其中，所述控制裝置包括：通信單元，其被構(gòu)造為經(jīng)由所述網(wǎng)絡(luò)以預(yù)定周期發(fā)送/接收數(shù)據(jù)幀，所述數(shù)據(jù)幀包括分別分配給所述節(jié)點(diǎn)的多個(gè)數(shù)據(jù)區(qū)域；以及設(shè)置單元，其被構(gòu)造為在第一周期中未使用所述多個(gè)數(shù)據(jù)區(qū)域中的、被安排為第一節(jié)點(diǎn)的數(shù)據(jù)區(qū)域的第一數(shù)據(jù)區(qū)域的情況下，在所述第一周期中，分配所述第一數(shù)據(jù)區(qū)域作為與所述第一節(jié)點(diǎn)不同的第二節(jié)點(diǎn)的數(shù)據(jù)區(qū)域，并且所述通信單元使所述第二節(jié)點(diǎn)在所述第一周期中讀出被寫入所述第一數(shù)據(jù)區(qū)域的響應(yīng)數(shù)據(jù)。

6、本發(fā)明在其第五方面中提供了一種光刻裝置，其用于在基板上形成圖案，所述光刻裝置包括在以上第四方面中限定的控制系統(tǒng)，其中，所述控制系統(tǒng)的多個(gè)節(jié)點(diǎn)中的各個(gè)對(duì)單元進(jìn)行控制，所述單元被構(gòu)造為進(jìn)行在所述基板上形成圖案的處理的至少部分。

7、本發(fā)明在其第六方面中提供了一種制造物品的方法，所述方法包括：通過使用在以上第五方面中限定的光刻裝置在基板上形成圖案；對(duì)形成有所述圖案的所述基板進(jìn)行處理；以及根據(jù)處理后的所述基板制造物品。

8、通過以下(參照附圖)對(duì)示例性實(shí)施例的描述，本發(fā)明的其他特征將變得明顯。

技術(shù)特征：

1.一種控制裝置，其用于控制連接到網(wǎng)絡(luò)的多個(gè)節(jié)點(diǎn)，所述控制裝置包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的控制裝置，其中，所述第二節(jié)點(diǎn)是被構(gòu)造為對(duì)單元進(jìn)行控制的控制節(jié)點(diǎn)，并且

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的控制裝置，其中，根據(jù)從所述狀態(tài)數(shù)據(jù)區(qū)域讀出的所述狀態(tài)數(shù)據(jù)，發(fā)送用于改變對(duì)所述單元的控制的命令數(shù)據(jù)。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的控制裝置，其中，所述設(shè)置單元基于被構(gòu)造為對(duì)單元進(jìn)行控制的各控制節(jié)點(diǎn)的狀態(tài)數(shù)據(jù)的采樣率，從所述多個(gè)節(jié)點(diǎn)中確定所述第二節(jié)點(diǎn)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的控制裝置，其中，所述設(shè)置單元基于所述多個(gè)節(jié)點(diǎn)的操作狀態(tài)，從所述多個(gè)節(jié)點(diǎn)中確定所述第二節(jié)點(diǎn)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的控制裝置，其中，所述設(shè)置單元基于要發(fā)送的命令數(shù)據(jù)，從所述多個(gè)節(jié)點(diǎn)中確定所述第二節(jié)點(diǎn)。

7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的控制裝置，其中，所述數(shù)據(jù)幀還包括預(yù)先確保的空間區(qū)域，并且

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的控制裝置，其中，所述第二節(jié)點(diǎn)的狀態(tài)數(shù)據(jù)和所述第三節(jié)點(diǎn)的狀態(tài)數(shù)據(jù)的總大小大于所述空間區(qū)域的大小。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的控制裝置，其中，所述網(wǎng)絡(luò)是遵循的網(wǎng)絡(luò)。

10.一種控制連接到網(wǎng)絡(luò)的多個(gè)節(jié)點(diǎn)的控制方法，所述控制方法包括如下發(fā)送/接收步驟：經(jīng)由所述網(wǎng)絡(luò)以預(yù)定周期發(fā)送/接收數(shù)據(jù)幀，所述數(shù)據(jù)幀包括分別分配給所述節(jié)點(diǎn)的多個(gè)數(shù)據(jù)區(qū)域，

11.一種計(jì)算機(jī)可讀存儲(chǔ)介質(zhì)，其存儲(chǔ)用于使計(jì)算機(jī)執(zhí)行控制連接到網(wǎng)絡(luò)的多個(gè)節(jié)點(diǎn)的控制方法的程序，所述程序包括用于使所述計(jì)算機(jī)執(zhí)行如下發(fā)送/接收步驟的指令：經(jīng)由所述網(wǎng)絡(luò)以預(yù)定周期發(fā)送/接收數(shù)據(jù)幀，所述數(shù)據(jù)幀包括分別分配給所述節(jié)點(diǎn)的多個(gè)數(shù)據(jù)區(qū)域，

12.一種控制系統(tǒng)，其包括連接到網(wǎng)絡(luò)的多個(gè)節(jié)點(diǎn)以及被構(gòu)造為控制所述多個(gè)節(jié)點(diǎn)的控制裝置，

13.一種光刻裝置，其用于在基板上形成圖案，所述光刻裝置包括根據(jù)權(quán)利要求12所述的控制系統(tǒng)，

14.一種制造物品的方法，所述方法包括：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供控制裝置、控制方法、控制系統(tǒng)、光刻裝置和制造物品的方法。所述控制裝置用于控制連接到網(wǎng)絡(luò)的多個(gè)節(jié)點(diǎn)。所述控制裝置包括：通信單元，其被構(gòu)造為，經(jīng)由所述網(wǎng)絡(luò)以預(yù)定周期發(fā)送/接收數(shù)據(jù)幀，所述數(shù)據(jù)幀包括分別分配給所述節(jié)點(diǎn)的多個(gè)數(shù)據(jù)區(qū)域；以及設(shè)置單元，其被構(gòu)造為，在第一周期中未使用所述多個(gè)數(shù)據(jù)區(qū)域中的、被安排為第一節(jié)點(diǎn)的數(shù)據(jù)區(qū)域的第一數(shù)據(jù)區(qū)域的情況下，在所述第一周期中，分配所述第一數(shù)據(jù)區(qū)域作為與所述第一節(jié)點(diǎn)不同的第二節(jié)點(diǎn)的數(shù)據(jù)區(qū)域。所述通信單元使所述第二節(jié)點(diǎn)在所述第一周期中讀出被寫入所述第一數(shù)據(jù)區(qū)域的響應(yīng)數(shù)據(jù)。

技術(shù)研發(fā)人員：渡邊康寬
受保護(hù)的技術(shù)使用者：佳能株式會(huì)社
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/12/23