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干燥方法以及干燥裝置制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):3796049

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本發(fā)明提供一種干燥方法以及干燥裝置。在使涂敷液供給部與基板相對(duì)移動(dòng)并在基板上涂敷涂敷液的涂敷工序中,會(huì)產(chǎn)生涂敷引起的條紋不均,成為外觀檢查不良的原因。因此,為了解決該課題,本發(fā)明提供一種干燥方法以及干燥裝置。在使涂敷液供給部與基板相對(duì)移動(dòng)而在基板上涂敷涂敷液的涂敷工序和通過(guò)對(duì)該已涂敷的膜進(jìn)行干燥來(lái)形成涂敷膜的干燥工序中,有意地在干燥工序中產(chǎn)生干燥不均,由此,緩和在涂敷工序中所產(chǎn)生的條紋不均,使其不明顯,從而防止產(chǎn)生外觀不良。專利說(shuō)明干燥方法以及干燥裝置 ...
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