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有機(jī)材料的制膜方法及裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:3776949

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本發(fā)明涉及新穎的制膜技術(shù)。各種有機(jī)材料的制膜技術(shù)在所謂高科技領(lǐng)域中已經(jīng)成為一種核心技術(shù)。本發(fā)明提供了一種特別適用于有機(jī)材料制膜的新方法及裝置,特別適用于具備光及/或電顯示功能(以下在本說明書中稱之為光電功能性),如場致發(fā)光、光致發(fā)光、光電動勢、光導(dǎo)電性、光存儲、光開關(guān)、光調(diào)制、光電阻、磁存儲等的有機(jī)材料制膜。背景技術(shù) 光電功能性有機(jī)材料的制膜,作為獲得高性能元件的技術(shù),現(xiàn)有的以下方法已為人知,如真空蒸鍍、CVD(化學(xué)汽相淀積)法、濺射法、電子束蒸鍍、離子束...
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