技術(shù)編號(hào):3751823
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及多晶硅鑄錠,特別涉及一種多晶硅鑄錠工藝。背景技術(shù)光伏太陽能用多晶硅鑄錠領(lǐng)域,在鑄造多晶硅時(shí)使用石英陶瓷坩堝為硅料承載模具,將高純多晶硅原料裝在帶氮化硅涂層的坩堝內(nèi),經(jīng)過在鑄錠爐內(nèi)加熱、熔化、定向結(jié)晶、退火、冷卻五個(gè)工藝過程,最終使高純多晶硅料生長成用于生產(chǎn)太陽能電池用的多晶硅錠。坩堝內(nèi)表面涂層氮化硅的目的主要是保護(hù)石英坩堝(主要成分為二氧化硅)在高溫下與硅的隔離,阻止鑄錠工藝中二氧化硅與硅液反應(yīng),防止污染高純硅液,同時(shí)保證硅液結(jié)晶后不與坩堝發(fā)生粘...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。