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無基材壓敏粘合片、其生產(chǎn)方法及使用其的研磨方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:3739634

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本發(fā)明涉及半導(dǎo)體晶片保護(hù)用無基材壓敏粘合片、使用該壓敏粘合片研磨半導(dǎo)體晶片背面的方法和生產(chǎn)該壓敏粘合片的方法,在使用該半導(dǎo)體晶片保護(hù)用無基材壓敏粘合 片的情況下,即使在將半導(dǎo)體晶片研磨至超薄水平后或者在研磨大直徑晶片后,也幾乎不 產(chǎn)生半導(dǎo)體晶片的翹曲。背景技術(shù)近年來,隨著各種電子器件朝向小型化的趨勢以及隨著IC卡的普及,期望電子部 件例如半導(dǎo)體晶片以及其它部件更進(jìn)一步薄型化。因此,需要使至今仍具有約350 μ m厚度 的半導(dǎo)體晶片更加薄型化,從而具有至多約...
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