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技術(shù)編號：3670334

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本發(fā)明涉及表面特性得到改善的氟橡膠成型制品，具體地說，本 發(fā)明涉及適用于半導(dǎo)體制造裝置、半導(dǎo)體輸送裝置、液晶制造裝置、 真空設(shè)備等的氟橡膠成型制品。背景技術(shù)迄今為止，人們一直要求在半導(dǎo)體制造裝置、半導(dǎo)體輸送裝置、液晶制造裝置、真空設(shè)備等中使用的諸如o形圈之類的密封材料具有耐等離子體性、耐熱性、清潔性、耐化學(xué)品性等，并且氟橡膠材料已經(jīng)被廣泛使用。通常，橡膠材料易于粘附到被密封的金屬表面上，使得在經(jīng)常開 啟和關(guān)閉的裝置中容易發(fā)生限制裝置正常工作的問題。另外，在...
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