技術(shù)編號(hào)：3586484
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及支化硅氧烷 及支化硅氧烷的合成方法，所述支化硅氧烷包括但不限于官能化支化硅氧烷。這類(lèi)化合物具有許多用途，包括在半導(dǎo)體工業(yè)中包括平坦化層、可圖案化絕緣體等的多個(gè)應(yīng)用。背景技術(shù)具有低粘度、低蒸氣壓和高硅含量的液體支化硅氧烷用于半導(dǎo)體工業(yè)例如微處理器、閃存、視覺(jué)顯示裝置和光學(xué)器件(發(fā)光二極管)等的制造。例如，Michael Lin等報(bào)導(dǎo)了用于納米壓印光刻法的命名為Si-14的可UV固化液體支化硅氧烷[1，2]。他們得出的結(jié)論是，用甲基丙烯酸酯作為可UV...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專(zhuān)利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專(zhuān)利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專(zhuān)利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。