技術編號:3544671
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種在流化床內(nèi)直接合成氯硅烷及甲基氯硅烷的方法,在該方法中,所形成的含硅粉塵是呈懸浮液形式送入流化床內(nèi)。在直接合成氯硅烷時,在任選的銅催化劑存在下,硅與氯化氫反應,形成三氯硅烷及四氯硅烷。例如,制備熱解法氧化硅時需用氯硅烷。熱解法氧化硅亦可由甲基氯硅烷以及甲基氯硅烷與氯硅烷的混合物制得,而不會損及產(chǎn)物的品質(zhì)。在以上兩種方法中,不僅需要盡可能高的產(chǎn)率(每單位時間及反應體積所形成的硅烷數(shù)量),而且需要盡可能高的硅轉(zhuǎn)化率及整個工廠的可靠和彈性操作。上述...
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