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技術(shù)編號(hào)：3510216

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,3,5-三乙基-2,4,6-三氫-2,4,6-三乙基氨基-,3,5-三氮雜-2,4,6-三硅代環(huán)己烷的制 ...的制作方法本發(fā)明涉及一種制備，3，5_三乙基-2，4，6-三氫-2，4，6-三乙基氨基-，3，5-三氮雜-2，4，6-三硅代環(huán)己烷的方法。背景技術(shù)在半導(dǎo)體的制造中，由于現(xiàn)有的生產(chǎn)SiO、SiN、SiON和SiOC層的方法，人們?cè)趯ふ曳磻?yīng)性化合物，其或者能在CVD (化學(xué)氣相沉積)法中被直接沉積，或者用在ALD (原子層沉積)法中，并且在隨后的反...
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