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技術(shù)編號(hào)：3472865

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本發(fā)明屬于多晶硅鑄錠領(lǐng)域，特別涉及一種。一種電子束熔煉與長(zhǎng)晶技術(shù)耦合制備多晶硅的裝置，爐體內(nèi)放置有石墨坩堝，石墨坩堝外壁由內(nèi)向外依次環(huán)繞有石墨加熱體和石墨保溫套，石墨保溫套的上石墨蓋板可水平移動(dòng)，且在爐體的一側(cè)與上石墨蓋板的平行位置處外接有空心板槽；石墨坩堝底部中心位置安裝有水冷拉錠機(jī)構(gòu)；其內(nèi)置有冷卻循環(huán)水管；爐體頂部通連安裝有電子槍，側(cè)部上端開(kāi)有充氣閥，下端開(kāi)有放氣閥。一種電子束熔煉與長(zhǎng)晶技術(shù)耦合制備多晶硅的裝置的工藝方法，步驟如下裝料抽真空、加氬氣升壓...
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