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技術(shù)編號：3471947

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在本發(fā)明中，使硅在硅芯線上析出而得到多晶硅棒的多晶硅的制造方法中，在析出反應(yīng)的初期階段(前段工序)中通過將原料氣體大量供給至反應(yīng)爐內(nèi)而在不提高反應(yīng)速度的情況下使供給的原料氣體的濃度為高濃度，由此提高反應(yīng)速度，在該前段工序之后的后段工序中利用將原料氣體高速吹入反應(yīng)爐內(nèi)所產(chǎn)生的高速強制對流的效果將爆米花的產(chǎn)生概率抑制在較低水平。由此，即使在高壓化、高負荷化、高速化的反應(yīng)體系中，也能夠在不降低生產(chǎn)效率的情況下制造爆米花少且高純度的多晶硅棒。專利說明多晶硅的制造方...
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