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本發(fā)明涉及用于制備三氯硅烷(TCS)的方法，由此還可兼具額外制得六氯二硅烷(HCDS)和/或八氯三硅烷(OCTS)?，F(xiàn)今，TCS是工業(yè)硅化學(xué)中的一種重要的和日益需求的起始化合物。例如可通過單不飽和的和任選取代的烯烴的氫化硅烷化制備有機(jī)氯硅烷，該有機(jī)氯硅烷經(jīng)用醇簡單酯化可轉(zhuǎn)變成有機(jī)烷氧基硅烷。也可由TCS經(jīng)歧化反應(yīng)獲取非常純的甲硅烷，該甲硅烷還可經(jīng)熱分解再加工成特別適于半導(dǎo)體應(yīng)用的多晶硅。在TCS歧化反應(yīng)中以及在按Siemens方法制備Si時(shí)會(huì)形成副產(chǎn)物四氯...
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