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技術(shù)編號：3438032

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本實用新型涉及一種冷卻裝置，尤其是涉及一種多晶硅還原爐殼體氣體冷卻裝置。二、 背景技術(shù)多晶硅還原爐主要由底盤、含夾套冷卻介質(zhì)的鐘罩式雙層爐體、電極、視鏡孔、底盤冷卻水進(jìn)水管、底盤冷卻水出水管、電極冷卻水進(jìn) 水管、電極冷卻水出水管及其他附屬部件組成。爐體主體采用不銹鋼材質(zhì)制成， 以減少設(shè)備材質(zhì)對產(chǎn)品的污染。在操作過程中爐內(nèi)產(chǎn)生大量熱量，爐體溫度可達(dá)9ocrc左右，這是奧氏體不銹鋼難以承受的。因此殼體能否被充分冷卻至合適的溫度直接影響多晶硅還原爐的正常使用和多...
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