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技術(shù)編號：3415761

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本發(fā)明屬于太陽電池，特別是。背景技術(shù)透明導(dǎo)電氧化物薄膜(TCO)是薄膜太陽電池必不可少的電極材料。具有絨面形貌的TCO是構(gòu)成具有陷光(light trapping)結(jié)構(gòu)硅薄膜太陽電池的重要基礎(chǔ)。陷光結(jié)構(gòu)的引入可增加入射光的光程，增強電池對光的吸收，對提高器件性能尤為重要。近年來，由于 SnO2薄膜具有很好的電學(xué)和光學(xué)特性，被廣泛用作太陽電池的透明導(dǎo)電膜。然而，這種材料在氫等離子體氛圍環(huán)境下由于Sn被還原導(dǎo)致其光學(xué)特性發(fā)生惡化，限制了其在薄膜太陽電池中作為透...
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