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技術(shù)編號：3414497

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本發(fā)明屬于半導(dǎo)體光電材料領(lǐng)域，具體涉及一種鈦摻雜鋁酸鋅鎂薄膜的制備方法及其應(yīng)用。背景技術(shù)薄膜電致發(fā)光顯示器(TFELD)由于其主動發(fā)光、全固體化、耐沖擊、反應(yīng)快、視角大、適用溫度寬、工序簡單等優(yōu)點，已引起了廣泛的關(guān)注，且發(fā)展迅速。以ZnSMn為發(fā)光層的單色TFELD已發(fā)展成熟并已實現(xiàn)商業(yè)化。鋁酸鋅(ZnAl2O4)是一種具有立方尖晶石結(jié)構(gòu)的寬禁帶半導(dǎo)體材料。ZnAl2O4多晶粉末的光學(xué)帶隙一般約為3. SeV 3. 9eV,化學(xué)穩(wěn)定性和熱穩(wěn)定性都非常好。由...
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