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技術(shù)編號(hào)：3375284

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本發(fā)明屬于薄膜制備領(lǐng)域，特別涉及一種適用于電子束蒸發(fā)技術(shù)的微球薄膜制備裝置及采用電子束真空蒸發(fā)技術(shù)制備微球碳化硼薄膜和靶丸的方法。背景技術(shù)在慣性約束聚變實(shí)驗(yàn)研究中，氘氚燃料需要裝進(jìn)一個(gè)空心球容器中，這個(gè)容器稱為靶丸。聚變?cè)韺?duì)靶丸燒蝕層(微球薄膜)提出了很高的要求，如較高的球形度、內(nèi)外表面光滑、壁厚均勻、靶丸直徑在1 2mm等。碳化硼是制備慣性約束聚變高增益燃料靶丸的重要材料之一，由于碳化硼材料硬度大，熔點(diǎn)高，柔韌性差，因此在制備碳化硼靶丸上存在較大的困難...
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