技術(shù)編號：3363122
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明是有關(guān)于一種可拆卸式進(jìn)出氣結(jié)構(gòu)及其導(dǎo)電膜成膜裝置，且特別是有關(guān)于一種具備可替換性的可拆卸式進(jìn)出氣結(jié)構(gòu)。背景技術(shù)液晶顯示元件、電激發(fā)光元件等的各種顯示元件或薄膜太陽電池的電極，其電極主要為具有可見光線透過率高，且電阻低的透明導(dǎo)電性的薄膜。因此，透明導(dǎo)電膜成為完成現(xiàn)今各種顯示器元件中不可或缺的電極材料。例如氧化銦錫andium Tin Oxide, IT0)或氧化錫(Tin Oxide, TO)、摻雜有氟的錫氧化物(Fluorine-doped Tin ...
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