專利名稱：可拆卸式進(jìn)出氣結(jié)構(gòu)及其導(dǎo)電膜成膜裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是有關(guān)于一種可拆卸式進(jìn)出氣結(jié)構(gòu)及其導(dǎo)電膜成膜裝置，且特別是有關(guān)于一種具備可替換性的可拆卸式進(jìn)出氣結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)：
液晶顯示元件、電激發(fā)光元件等的各種顯示元件或薄膜太陽(yáng)電池的電極，其電極主要為具有可見(jiàn)光線透過(guò)率高，且電阻低的透明導(dǎo)電性的薄膜。因此，透明導(dǎo)電膜成為完成現(xiàn)今各種顯示器元件中不可或缺的電極材料。例如氧化銦錫andium Tin Oxide, IT0)或氧化錫(Tin Oxide, TO)、摻雜有氟的錫氧化物(Fluorine-doped Tin Oxide, FT0)等導(dǎo)電性金屬氧化物為主要成分的膜，兼具對(duì)可見(jiàn)光優(yōu)異的透明性及優(yōu)異的電性傳導(dǎo)性。此外，一般制造透明導(dǎo)電膜的裝置的使用，例如電漿CVD方法。此方法將既有的靶材，以電漿的方式在基板上進(jìn)行成膜。由于制程條件必須在真空(或接近真空)下進(jìn)行，所以這樣的制程假如是以連續(xù)式操作的話，所必須使用的設(shè)備不僅復(fù)雜且昂貴，使得所制造的成品價(jià)格甚高。且銦(In)因?yàn)閮r(jià)格昂貴，資源有限，所以并不適合未來(lái)產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。而氧化錫薄膜，由于價(jià)格低、在高溫下穩(wěn)定性佳以及化性穩(wěn)定，且用來(lái)形成氧化錫薄膜的鍍膜制程不需要在真空的環(huán)境下進(jìn)行，所以這樣的制程條件對(duì)透明導(dǎo)電膜的發(fā)展極具競(jìng)爭(zhēng)力。習(xí)知制造氧化錫的導(dǎo)電膜裝置欲進(jìn)行連續(xù)式操作的制程時(shí)需結(jié)合目前常用于浮法玻璃(在高溫下將熔化的玻璃液流在熔融的金屬液面上，浮飄拋光，成型為平整、光潔的平板玻璃)的制程及其退火制程。此習(xí)知技術(shù)必須將一浮法玻璃導(dǎo)入一體成型的隧道爐中，然而須根據(jù)反應(yīng)物的制程條件對(duì)隧道爐進(jìn)行改裝以符合不同制程需求這些制程條件， 例如習(xí)知有在常壓下進(jìn)行的化學(xué)氣相沉績(jī)法(CVD)制程。然而，對(duì)于沒(méi)有具備浮法制程的廠商，就無(wú)法施行氧化錫的鍍膜制程。因此有需要提供一種能符合前述需求導(dǎo)電膜成膜裝置。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明的一態(tài)樣是在提供一種可拆卸式進(jìn)出氣結(jié)構(gòu)及其導(dǎo)電膜成膜裝置， 將習(xí)知隧道爐中的成膜裝置模塊化成一獨(dú)立的裝置，借以由連接元件在前后分別連接所需制程的制程機(jī)臺(tái)，具有可替換的特性，而可直接與各種制程裝置組裝在一起，以節(jié)省進(jìn)行改裝的成本及時(shí)間。因此，本發(fā)明的另一態(tài)樣是在提供一種即使不具備浮法玻璃制程亦可連續(xù)量產(chǎn)透明導(dǎo)電薄膜的導(dǎo)電膜成膜裝置，并且可以利用習(xí)知的連接元件把多個(gè)本發(fā)明的導(dǎo)電膜成膜裝置串行成一連續(xù)生產(chǎn)制程。本發(fā)明的另一態(tài)樣是在提供一種可拆卸式進(jìn)出氣結(jié)構(gòu)及其導(dǎo)電膜成膜裝置，借由可拆卸式進(jìn)出氣結(jié)構(gòu)的獨(dú)立設(shè)計(jì)，因此導(dǎo)電膜成膜裝置的成膜原料供應(yīng)管路以及排氣管路具有拆卸方便以及清洗容易的優(yōu)點(diǎn)。本發(fā)明的另一態(tài)樣是在提供一種可與既有浮法玻璃制以及既有玻璃退火設(shè)備結(jié)合的導(dǎo)電膜成膜裝置，而串接成一種進(jìn)行噴霧裂解法的連續(xù)生產(chǎn)線以生產(chǎn)透明導(dǎo)電氧化錫。根據(jù)本發(fā)明的上述目的，提出一種可拆卸式進(jìn)出氣結(jié)構(gòu)，其包含板體、排氣單元、 成膜原料供應(yīng)單元以及兩鎖固元件。排氣單元設(shè)置于該板體的一端。成膜原料供應(yīng)單元設(shè)置于板體的另一端。兩鎖固元件分別將排氣單元以及成膜原料供應(yīng)單元鎖固于板體上。排氣單元包含至少一抽氣管，每一個(gè)抽氣管具有一氣體流量控制閥。這些抽氣管共同具有一抽氣開(kāi)口。成膜原料供應(yīng)單元包含容室，容室具有一原料供應(yīng)孔，設(shè)置于容室靠近排氣單元的一側(cè)面。根據(jù)本發(fā)明的上述目的，提出一種導(dǎo)電膜成膜裝置，其包含爐體、輸送裝置、加熱器、可拆卸式進(jìn)出氣結(jié)構(gòu)、第一連接元件以及第二連接元件。爐體具有成膜室橫向貫穿爐體，成膜室具有基板輸入端以及基板輸出端。輸送裝置具有貫穿成膜室的輸送軌道。加熱器設(shè)置于輸送軌道下方?？刹鹦妒竭M(jìn)出氣結(jié)構(gòu)設(shè)置于成膜室上方且面對(duì)輸送裝置。第一連接元件設(shè)置于基板輸入端，以連接至第一制程裝置。第二連接元件設(shè)置于基板輸出端，以連接至第二制程裝置。其中可拆卸式進(jìn)出氣結(jié)構(gòu)包含板體、第一鎖固元件、排氣單元以及成膜原料供應(yīng)單元。第一鎖固元件圍繞板體以將板體鎖固于爐體上。排氣單元設(shè)置于板體的一端，且鄰近成膜室的基板輸出端。成膜原料供應(yīng)單元設(shè)置于板體的另一端，且鄰近成膜室的基板輸出端。根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例，上述可拆卸式進(jìn)出氣結(jié)構(gòu)還包含第二加熱器，設(shè)置于板體中，且位于排氣單元與成膜原料供應(yīng)單元之間。根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例，上述排氣單元包含至少一個(gè)抽氣管，這些抽氣管具有共同的抽氣室，且這些抽氣管共同具有一抽氣開(kāi)口。根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例，上述第一制程裝置是基板加熱裝置。根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例，上述第二制程裝置是基板退火裝置。通過(guò)運(yùn)用本發(fā)明的導(dǎo)電膜成膜裝置，可節(jié)省購(gòu)買機(jī)臺(tái)進(jìn)行改裝的成本，并且通過(guò)連接元件的設(shè)置，上述成膜裝置的前段制程與后段制程具有更彈性的選擇性，且具有可替換性，達(dá)到降低生產(chǎn)成本的目的。


為讓本發(fā)明的上述和其它目的、特征、優(yōu)點(diǎn)與實(shí)施例能更明顯易懂，所附附圖的說(shuō)明如下圖1繪示根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的導(dǎo)電膜成膜裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2繪示根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的輸送裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3A繪示根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的可拆卸式進(jìn)出氣結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖;3B繪示沿著圖3A的剖線AA’的剖面示意圖；圖3C繪示沿著圖3A的剖線BB’的剖面示意圖；圖3D繪示根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的排氣單元的剖面示意圖；圖4繪示根據(jù)本發(fā)明另一實(shí)施例的可拆卸式進(jìn)出氣結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖5繪示根據(jù)本發(fā)明另一實(shí)施例的導(dǎo)電膜成膜裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。主要附圖標(biāo)記說(shuō)明100:導(dǎo)電膜成膜裝置101:基板
110 爐體111成膜室
112 基板輸入端113基板輸出端
114 保溫棉120輸送裝置
121 輸送軌道122滾輪
123 滾輪驅(qū)動(dòng)裝置124傳動(dòng)馬達(dá)
125 結(jié)合件130加熱器
140 可拆卸式進(jìn)出氣結(jié)構(gòu)141板體
142 第一鎖固元件142aL 螺絲
142bι 螺絲孔143排氣單元
144 成膜原料供應(yīng)單元145加熱器
310 抽氣管150、160 連接元件
330 抽氣開(kāi)口320氣體流量控制閥
341 隔板340抽氣室
350 容室352原料供應(yīng)孔
353 容室354容室
354a容室356隔板
440 可拆卸式進(jìn)出氣結(jié)構(gòu)441,442 扣環(huán)
500a 基板加熱裝置500fc！基板退火裝置
具體實(shí)施例方式請(qǐng)參照?qǐng)D1，其繪示根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的一種導(dǎo)電膜成膜裝置100。導(dǎo)電膜成膜裝置100包含爐體110、輸送裝置120、加熱器130、可拆卸式進(jìn)出氣結(jié)構(gòu)140、連接元件150 以及連接元件160。導(dǎo)電膜的成膜作業(yè)于爐體110內(nèi)的成膜室111內(nèi)進(jìn)行。成膜室111具有基板輸入端112以及基板輸出端113，以便于將欲進(jìn)行成膜作業(yè)的基板101經(jīng)由基板輸入端112輸入，并經(jīng)由基板輸出端113輸出。而爐體110具備隔熱材，以防止?fàn)t體110的熱散失。隔熱材可例如圖2的保溫棉114。請(qǐng)參照?qǐng)D2，輸送裝置120包含輸送軌道121，例如可為履帶，用以將進(jìn)行成膜作業(yè)的基板101自基板輸入端112輸送至基板輸出端113。在一實(shí)施例中，輸送裝置120可利用例如滾輪輸送裝置120，其包含有多個(gè)可自由滾動(dòng)的滾輪122、繞設(shè)于這些滾輪122外的輸送軌道121以及滾輪驅(qū)動(dòng)裝置123，而滾輪驅(qū)動(dòng)裝置受傳動(dòng)馬達(dá)IM所驅(qū)動(dòng)。這些滾輪122 的輪軸通過(guò)結(jié)合件125結(jié)合在一起。結(jié)合件125可例如為鏈條或皮帶。滾輪驅(qū)動(dòng)裝置120 則與這些滾輪122其中一個(gè)的輪軸相互結(jié)合，通過(guò)驅(qū)動(dòng)此滾輪122的輪軸來(lái)驅(qū)動(dòng)所有的滾輪122轉(zhuǎn)動(dòng)。當(dāng)啟動(dòng)傳動(dòng)馬達(dá)1 后，滾輪驅(qū)動(dòng)裝置123驅(qū)動(dòng)所有滾輪122轉(zhuǎn)動(dòng)，通過(guò)滾輪 122帶動(dòng)輸送軌道121，以將基板101自基板輸入端112輸送到成膜室111內(nèi)。在一實(shí)施例中，輸送裝置120還包含控制結(jié)構(gòu)(未示出)以控制滾輪驅(qū)動(dòng)裝置123的驅(qū)動(dòng)速度，借此可控制滾輪122的轉(zhuǎn)動(dòng)速度，以達(dá)到調(diào)整基板101在成膜室111內(nèi)的移動(dòng)速度。如圖1所示，加熱器130設(shè)置于輸送裝置120的下方，且設(shè)置于爐體110內(nèi)，以對(duì)成膜室111內(nèi)的基板101進(jìn)行加熱處理。在一實(shí)施例中，加熱器130的獨(dú)立設(shè)置于輸送裝置120下方。亦即，滾輪122的轉(zhuǎn)動(dòng)并不會(huì)帶動(dòng)加熱器130轉(zhuǎn)動(dòng)，使得基板101在受到加熱器130均勻受熱的情況下，進(jìn)行成膜制程?？刹鹦妒竭M(jìn)出氣結(jié)構(gòu)140獨(dú)立設(shè)置于成膜室111的上方，且面對(duì)輸送裝置120。請(qǐng)參照?qǐng)D3A，此可拆卸式進(jìn)出氣結(jié)構(gòu)140包含有板體141、第一鎖固元件142、排氣單元143以及成膜原料供應(yīng)單元144。板體141較佳以高耐熱的金屬所形成，并鋪設(shè)有隔熱材，以隔絕爐體內(nèi)的熱散失。 請(qǐng)一并參照?qǐng)D1，第一鎖固元件142，例如包含螺絲14 與螺絲孔142b的組合。螺絲孔142b 環(huán)繞設(shè)置于板體141的外圍，通過(guò)螺絲14 將上述板體141鎖固于爐體110上。請(qǐng)同時(shí)參照?qǐng)D1與圖3B，圖;3B繪示沿著圖3A的剖線AA’的剖面示意圖。排氣單元143設(shè)置于板體141的一端，且鄰近于成膜室111的基板輸出端112。排氣單元143包含至少一個(gè)抽氣管310。在本實(shí)施例中，這些抽氣管310中的每一者均具有一氣體流量控制閥 320位于管內(nèi)，借此可形成均勻的抽氣效果，且這些抽氣管310共同具有抽氣開(kāi)口 330。通過(guò)抽氣開(kāi)口 330的抽氣可使成膜室111內(nèi)產(chǎn)生風(fēng)道效應(yīng)，使得成膜室內(nèi)的氣體會(huì)因排氣單元143的抽取，而自基板輸入端112向基板輸出端113的方向流動(dòng)。因此，當(dāng)基板101由基板輸入端112移動(dòng)至基板輸出端113時(shí)，至此成膜作業(yè)已大致完成。在本實(shí)施例中，抽氣開(kāi)口 330為一條狀結(jié)構(gòu)。在其它實(shí)施例中，抽氣開(kāi)口 330為一孔狀。在另一實(shí)施例中，排氣單元143包含至少一個(gè)隔板341，使得這些抽氣管中的相鄰每?jī)烧呔哂幸怀闅馐?40，如圖3D 所示，借此可進(jìn)一步提高抽氣的均勻性。在一實(shí)施例中，氣體流量控制閥320可以是球閥或者蝴蝶閥。請(qǐng)同時(shí)參照?qǐng)D1與圖3C，圖3C繪示沿著圖3A的剖線BB’的剖面示意圖。成膜原料供應(yīng)單元144包含容室350以及管路360將成膜原料輸送至此容室350內(nèi)。容室350還包含至少一個(gè)垂直設(shè)立的隔板356，以將容室3M分隔成至少二個(gè)容室35 以進(jìn)一步提高成膜原料的混合均勻性。而原料供應(yīng)孔352則設(shè)置于容室350靠近排氣單元143的一側(cè)，而非位于容室350的底部。借此成膜原料在容室350底部進(jìn)一步進(jìn)行儲(chǔ)存，直至液面高于原料供應(yīng)孔352而流向入成膜室111內(nèi)的基板101，以提高成膜的均勻度。在一實(shí)施例中，成膜原料以霧氣態(tài)噴涂至基板101上，成膜原料包含，例如可溶性錫鹽的透明導(dǎo)電化學(xué)溶液。在一實(shí)施例中，此可拆卸式進(jìn)出氣結(jié)構(gòu)還包含加熱器145，設(shè)置于板體141中，且位于排氣單元143與成膜原料供應(yīng)單元144之間。請(qǐng)參照?qǐng)D4，其繪示根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的可拆卸式進(jìn)出氣結(jié)構(gòu)440。此可拆卸式進(jìn)出氣結(jié)構(gòu)440還包含第二鎖固元件以及第三鎖固元件，例如圖4的多個(gè)扣環(huán)441、442。借由這些扣環(huán)441、442，分別將排氣單元143以及成膜原料單元144可拆卸式地鎖固于板體 141上。如此有利于拆卸成膜原料供應(yīng)單元144以及排氣單元143，以清除附著于管路內(nèi)的成膜原料?；蛘?，在其它實(shí)施例中，亦可視制程需求替換成膜原料供應(yīng)單元144。請(qǐng)同時(shí)參照?qǐng)D1與圖5，其中圖5繪示根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的導(dǎo)電膜成膜裝置100 的立體側(cè)視圖。連接元件150、160分別設(shè)置于此導(dǎo)電膜成膜裝置100的基板輸入端112以及基板輸出端113。連接元件150用以連接此導(dǎo)電膜成膜裝置100至第一制程裝置，例如基板加熱裝置500a，以使得基板101在進(jìn)到此導(dǎo)電膜成膜裝置100前即具有一預(yù)設(shè)溫度。連接元件160用以連接此導(dǎo)電膜成膜裝置100至第二制程裝置，例如基板退火裝置500b，以使得基板101在進(jìn)行成膜作業(yè)后可進(jìn)行退火制程。然而，在另一實(shí)施例中，第一制程裝置以及第二制程裝置可根據(jù)實(shí)際制程需求以替換不同的制程裝置。由上述本發(fā)明實(shí)施方式可知，應(yīng)用本發(fā)明的導(dǎo)電膜成膜裝置具有可節(jié)省改裝機(jī)臺(tái)成本的優(yōu)點(diǎn)。并且借由連接元件的設(shè)置，上述成膜裝置的前段制程與后段制程具有更彈性的選擇性，且具有可替換性，達(dá)到降低生產(chǎn)成本的目的。此外，通過(guò)可拆卸式進(jìn)出氣結(jié)構(gòu)的獨(dú)立設(shè)計(jì)，導(dǎo)電膜成膜裝置的成膜原料供應(yīng)管路以及排氣管路具有拆卸方便以及清洗容易的優(yōu)點(diǎn)?？梢砸粚?dǎo)電膜成膜裝置搭配兩可拆卸式進(jìn)出氣結(jié)構(gòu)，在清除附著于管路內(nèi)的成膜時(shí)，可以另一進(jìn)出氣結(jié)構(gòu)進(jìn)行替換，借此生產(chǎn)線不會(huì)因清洗而導(dǎo)致停止。雖然本發(fā)明已以實(shí)施方式揭露如上，然其并非用以限定本發(fā)明，任何熟習(xí)此技藝者，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，當(dāng)可作各種的更動(dòng)與潤(rùn)飾，因此本發(fā)明的保護(hù)范圍當(dāng)視后附的權(quán)利要求書(shū)所界定的范圍為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
1.一種可拆卸式進(jìn)出氣結(jié)構(gòu)，用于一氧化錫導(dǎo)電膜成膜裝置，其特征在于，該可拆卸式進(jìn)出氣結(jié)構(gòu)包含一板體；一排氣單元，設(shè)置于該板體的一端，該排氣單元包含至少一抽氣管，每一該至少一抽氣管具有一氣體流量控制閥，且該至少一抽氣管共同具有一抽氣開(kāi)口；一成膜原料供應(yīng)單元，設(shè)置于該板體的另一端，該成膜原料供應(yīng)單元包含 一容室，具有一原料供應(yīng)孔，該原料供應(yīng)孔設(shè)置于該容室靠近該排氣單元的一側(cè)面；以及兩鎖固元件，分別用以將該排氣單元以及該成膜原料供應(yīng)單元鎖固于該板體上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可拆卸式進(jìn)出氣結(jié)構(gòu)，其特征在于，該成膜原料供應(yīng)單元還包含至少一第一隔板，垂直設(shè)置于該容室中且位于該原料供應(yīng)孔上。
3.一種導(dǎo)電膜成膜裝置，其特征在于，包含一爐體，具有一成膜室橫向貫穿該爐體，該成膜室具有一基板輸入端以及一基板輸出端；一輸送裝置，具有貫穿該成膜室的一輸送軌道； 一第一加熱器，設(shè)置于該輸送軌道下方；一可拆卸式進(jìn)出氣結(jié)構(gòu)，設(shè)置于該成膜室上方且面對(duì)該輸送裝置，該可拆卸式進(jìn)出氣結(jié)構(gòu)包含 一板體；一第一鎖固元件，圍繞該板體，以將該板體鎖固于該爐體上； 一排氣單元，設(shè)置于該板體的一端，且鄰近該成膜室的該基板輸出端；以及一成膜原料供應(yīng)單元，設(shè)置于該板體的另一端，且鄰近該成膜室的該基板輸出端； 一第一連接元件，設(shè)置于該基板輸入端，以連接至一第一制程裝置；以及一第二連接元件，設(shè)置于該基板輸出端，以連接至一第二制程裝置。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的導(dǎo)電膜成膜裝置，其特征在于，該可拆卸式進(jìn)出氣結(jié)構(gòu)還包含一第二加熱器，設(shè)置于該板體中，且位于該排氣單元與該成膜原料供應(yīng)單元之間。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的導(dǎo)電膜成膜裝置，其特征在于，該排氣單元包含至少一抽氣管，每一該些至少一抽氣管具有一氣體流量控制閥且該至少一抽氣管共同具有一抽氣開(kāi)
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的導(dǎo)電膜成膜裝置，其特征在于，該成膜原料供應(yīng)單元包含 一容室，具有一原料供應(yīng)孔，該原料供應(yīng)孔設(shè)置于該容室靠近該排氣單元的一側(cè)面；以及至少一第一隔板，垂直設(shè)置于該容室中且位于該原料供應(yīng)孔上，該第一隔板具有多個(gè)道通孑L。
7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的導(dǎo)電膜成膜裝置，其特征在于，還包含一第二鎖固元件以及一第三鎖固元件，分別用以將該排氣單元以及該成膜原料供應(yīng)單元鎖固于該板體上。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的導(dǎo)電膜成膜裝置，其特征在于，該第二鎖固元件以及該第三鎖固元件分別包含多個(gè)扣環(huán)。
9.根據(jù)權(quán)利要求3所述的導(dǎo)電膜成膜裝置，其特征在于，該第一制程裝置是一基板加熱裝置。
10.根據(jù)權(quán)利要求3所述的導(dǎo)電膜成膜裝置，其特征在于，該第二制程裝置是一基板退火裝置。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種可拆卸式進(jìn)出氣結(jié)構(gòu)，此可拆卸式進(jìn)出氣結(jié)構(gòu)包含板體、排氣單元、成膜原料供應(yīng)單元以及兩鎖固元件。排氣單元設(shè)置于板體的一端。成膜原料供應(yīng)單元設(shè)置于板體的另一端。兩鎖固元件分別將排氣單元以及成膜原料供應(yīng)單元鎖固于板體上。本發(fā)明還揭露了一種含有此可拆卸式進(jìn)出氣結(jié)構(gòu)的導(dǎo)電膜成膜裝置。
文檔編號(hào)C23C16/455GK102242349SQ20101018011
公開(kāi)日2011年11月16日 申請(qǐng)日期2010年5月14日 優(yōu)先權(quán)日2010年5月14日
發(fā)明者李炳寰, 江鴻儒, 洪麗玲, 簡(jiǎn)永杰, 胡英杰, 蔡明雄 申請(qǐng)人:亞樹(shù)科技股份有限公司