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石英晶片專用拋光盤的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:3355643

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本實用新型涉及一種石英晶片拋光裝置,更具體地說它是一種石英晶片專用拋光 盤,它可用于石英晶片的雙面拋光。背景技術(shù)現(xiàn)有的石英晶片拋光裝置包括上拋光盤和下拋光盤,上拋光盤上有流沙孔,上拋 光盤的下端面有拋光墊,上拋光盤通過上盤帶動軸帶動旋轉(zhuǎn),上拋光盤和上盤帶動軸之間 通過定位塊固定在一起,下拋光盤的上端面有拋光墊,下拋光盤通過下盤帶動軸帶動旋轉(zhuǎn), 下拋光盤和下盤帶動軸之間通過下拋光盤定位銷固定在一起,有外齒圈帶動軸位于下拋光 盤內(nèi)中間的通孔內(nèi),有內(nèi)齒圈圍繞在下...
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