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技術(shù)編號：3352406

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本發(fā)明涉及再生精密清洗，特別涉及半導(dǎo)體技術(shù)鋁/銅室(AL/CUChamber)再生精密清洗，具體是指壓緊環(huán)清洗保護及測量治具。背景技術(shù)再生精密清洗是在失效模式控制范圍內(nèi)，清洗客戶在使用過程中產(chǎn)生的殘留物，并且恢復(fù)器件表面和內(nèi)部的物理性能，以使得客戶可以再次使用該器件；鋁/銅室(AL/CUChamber)壓緊環(huán)(Clamp ring)的內(nèi)邊緣夾面(chuck面)在再生過程中會產(chǎn)生一定的損耗，隨著再生次數(shù)的增加，夾面的損耗程度不斷增加，最終導(dǎo)致壓緊環(huán)無法正常使...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。

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