專利名稱：壓緊環(huán)清洗保護(hù)及測(cè)量治具的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及再生精密清洗技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及半導(dǎo)體技術(shù)鋁/銅室(AL/CUChamber)再生精密清洗技術(shù)領(lǐng)域，具體是指壓緊環(huán)清洗保護(hù)及測(cè)量治具。
背景技術(shù)：
再生精密清洗是在失效模式控制范圍內(nèi)，清洗客戶在使用過(guò)程中產(chǎn)生的殘留物，并且恢復(fù)器件表面和內(nèi)部的物理性能，以使得客戶可以再次使用該器件；鋁/銅室(AL/CUChamber)壓緊環(huán)(Clamp ring)的內(nèi)邊緣夾面(chuck面)在再生過(guò)程中會(huì)產(chǎn)生一定的損耗，隨著再生次數(shù)的增加，夾面的損耗程度不斷增加，最終導(dǎo)致壓緊環(huán)無(wú)法正常使用。
請(qǐng)參見(jiàn)圖1所示，圖1是壓緊環(huán)1部件，其內(nèi)邊緣夾面11高度在再生過(guò)程中會(huì)損耗，每次清洗再生、經(jīng)過(guò)噴砂處理后，夾面11區(qū)域的厚度有一定量的損耗(內(nèi)徑每次清洗損耗大約0. 045mm)，并且?jiàn)A面11產(chǎn)生向下巻曲現(xiàn)象，隨著清洗次數(shù)的增加，最終導(dǎo)致部件無(wú)法滿足客戶的使用要求，導(dǎo)致部件報(bào)廢。 目前，壓緊環(huán)1的清洗次數(shù)一般20次左右就報(bào)廢，客戶部件更換周期短，更換頻繁，中間檢查對(duì)壓緊環(huán)1保護(hù)需要人工加工工時(shí)及保護(hù)膠帶，且目前壓緊環(huán)1失效判斷采用的夾面高度測(cè)量治具比較昂貴、效率低，如使用Ring chuck測(cè)量機(jī)測(cè)量、監(jiān)控夾面11高度，判斷是否失效，此測(cè)量效率不高(測(cè)量一個(gè)壓緊環(huán)1大約需要10分鐘)，并且此臺(tái)測(cè)量?jī)x價(jià)格比價(jià)昂貴，用戶使用維護(hù)成本高。 因此，有必要對(duì)現(xiàn)有鋁/銅室壓緊環(huán)再生精密清洗存在的上述缺陷進(jìn)行全新的設(shè)計(jì)和改進(jìn)，力求減少夾面高度在再生過(guò)程中的損耗，提高壓緊環(huán)清洗次數(shù)，延長(zhǎng)客戶部件更換周期，解決夾面高度測(cè)量效率低，測(cè)量治具比較昂貴的問(wèn)題，大大降低用戶使用維護(hù)成本。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是克服了上述現(xiàn)有技術(shù)中的缺點(diǎn)，提供了壓緊環(huán)清洗保護(hù)及測(cè)量治具，該壓緊環(huán)清洗保護(hù)及測(cè)量治具設(shè)計(jì)巧妙，能大大減少夾面高度在再生過(guò)程中的損耗，顯著提高壓緊環(huán)清洗次數(shù)，延長(zhǎng)客戶部件更換周期，解決夾面高度測(cè)量效率低、測(cè)量治具比較昂貴的問(wèn)題，大大降低用戶使用維護(hù)成本，適于大規(guī)模推廣應(yīng)用。 為了實(shí)現(xiàn)上述目的，在第一方面，本發(fā)明提供了一種壓緊環(huán)清洗底部保護(hù)治具，其特點(diǎn)是，所述壓緊環(huán)清洗底部保護(hù)治具包括夾面支撐部，所述夾面支撐部具有支撐所述壓緊環(huán)的夾面底部的頂部表面。 較佳地，所述夾面支撐部為夾面支撐環(huán)。 更佳地，所述夾面支撐環(huán)的頂部外側(cè)具有至少一對(duì)向內(nèi)對(duì)稱的凹陷。保證壓緊環(huán)夾面上的小塊(pad)落在凹陷內(nèi)，使夾面與壓緊環(huán)清洗底部保護(hù)治具的頂部表面緊貼，從而保證在噴砂處理時(shí)壓緊環(huán)清洗底部保護(hù)治具起到完全的保護(hù)作用。 較佳地，所述壓緊環(huán)清洗底部保護(hù)治具還包括底座，所述夾面支撐部設(shè)置在所述底座上。 更佳地，所述壓緊環(huán)清洗底部保護(hù)治具還包括限位所述壓緊環(huán)的限位部，所述限
位部設(shè)置在所述底座上，所述夾面支撐部位于所述限位部?jī)?nèi)。 更進(jìn)一步地，所述限位部為限位環(huán)，所述夾面支撐部為支撐環(huán)。 在本發(fā)明的第二方面，還提供了一種壓緊環(huán)清洗上部保護(hù)治具，其特點(diǎn)是，所述壓緊環(huán)清洗上部保護(hù)治具包括遮蓋所述壓緊環(huán)的夾面上部的遮蓋面。 較佳地，所述壓緊環(huán)清洗上部保護(hù)治具為環(huán)形圈，所述遮蓋面為所述環(huán)形圈的下表面。 更佳地，所述的環(huán)形圈的下表面上設(shè)置有對(duì)稱凹部。與夾面上部有凸部(shadow)的夾緊環(huán)匹配，起到定位作用，使夾面上部與壓緊環(huán)清洗上部保護(hù)治具的遮蓋面緊貼，從而保證在噴砂處理時(shí)壓緊環(huán)清洗上部保護(hù)治具起到完全的保護(hù)作用。 在本發(fā)明的第三方面，還提供了一種壓緊環(huán)夾面高度檢測(cè)治具，其特點(diǎn)是，所述壓緊環(huán)夾面高度檢測(cè)治具包括底板和設(shè)置在所述底板上的夾面支承部，所述夾面支承部具有支承所述壓緊環(huán)的夾面底部的上部表面，所述底板的上表面平行于所述上部表面。
較佳地，所述夾面支承部是夾面支承環(huán)。
本發(fā)明的有益效果具體如下 1、本發(fā)明的壓緊環(huán)清洗底部保護(hù)治具包括夾面支撐部，所述夾面支撐部具有支撐所述壓緊環(huán)的夾面底部的頂部表面，使用時(shí)壓緊環(huán)的夾面底部緊貼在夾面支撐部的頂部表面上，防止部件夾面受外作用力而使夾面產(chǎn)生彎曲，節(jié)省中間檢查對(duì)壓緊環(huán)保護(hù)人工加工工時(shí)及保護(hù)膠帶，大大降低用戶使用維護(hù)成本； 2、本發(fā)明的壓緊環(huán)清洗上部保護(hù)治具包括遮蓋所述壓緊環(huán)的夾面上部的遮蓋面，使用時(shí)該遮蓋面遮蓋住壓緊環(huán)的夾面上部，合理保護(hù)夾面上部，進(jìn)行分段分壓力進(jìn)行噴砂，大大降低壓緊環(huán)的夾面高度在再生過(guò)程中的損耗，顯著提高壓緊環(huán)清洗次數(shù)，延長(zhǎng)客戶部件更換周期，大大降低用戶使用維護(hù)成本； 3、本發(fā)明的壓緊環(huán)夾面高度檢測(cè)治具包括底板和設(shè)置在所述底板上的夾面支承部，所述夾面支承部具有支承所述壓緊環(huán)的夾面底部的上部表面，所述底板的上表面平行于所述上部表面，測(cè)量時(shí)，部件夾面緊貼在檢測(cè)治具的上部平面上，采用塞尺測(cè)量、監(jiān)控夾面高度，判斷是否失效，解決夾面高度測(cè)量效率低、測(cè)量治具比較昂貴的問(wèn)題，大大降低用戶使用維護(hù)成本。


圖1是現(xiàn)有壓緊環(huán)的剖視示意圖。 圖2是本發(fā)明的壓緊環(huán)清洗底部保護(hù)治具的一具體實(shí)施例的俯視示意圖, 圖3是圖2所示的具體實(shí)施例的剖視示意圖。 圖4是本發(fā)明的壓緊環(huán)清洗上部保護(hù)治具的一具體實(shí)施例的俯視示意圖, 圖5是圖4所示的具體實(shí)施例的剖視示意圖。 圖6是本發(fā)明的壓緊環(huán)夾面高度檢測(cè)治具的一具體實(shí)施例的俯視示意圖, 圖7是圖6所示的具體實(shí)施例的局部剖視示意圖。 圖8是圖3所示的具體實(shí)施例使用時(shí)與圖1所示的壓緊環(huán)的對(duì)應(yīng)示意圖,
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圖9是圖4所示的具體實(shí)施例使用時(shí)與圖1所示的壓緊環(huán)的對(duì)應(yīng)示意圖。
圖10是圖6所示的具體實(shí)施例使用時(shí)與圖1所示的壓緊環(huán)的對(duì)應(yīng)示意圖。
具體實(shí)施例方式
為了能夠更清楚地理解本發(fā)明的技術(shù)內(nèi)容，特舉以下實(shí)施例詳細(xì)說(shuō)明。
請(qǐng)參閱圖2和圖3所示，并結(jié)合圖1所示，本發(fā)明的壓緊環(huán)清洗底部保護(hù)治具2包括夾面支撐部21，所述夾面支撐部21具有支撐所述壓緊環(huán)1的夾面11底部的頂部表面22。
較佳地，所述夾面支撐部21為夾面支撐環(huán)。更佳地，所述夾面支撐環(huán)的頂部外側(cè)具有至少一對(duì)向內(nèi)對(duì)稱的凹陷23。在本發(fā)明的具體實(shí)施例中，所述夾面支撐環(huán)的頂部外側(cè)具有三對(duì)向內(nèi)對(duì)稱的凹陷23。保證壓緊環(huán)1的夾面11上的6個(gè)小塊(pad)落在6個(gè)凹陷23內(nèi)，使夾面11與壓緊環(huán)清洗底部保護(hù)治具2的頂部表面22緊貼，從而保證在噴砂處理時(shí)壓緊環(huán)清洗底部保護(hù)治具2起到完全的保護(hù)作用。 較佳地，所述壓緊環(huán)清洗底部保護(hù)治具2還包括底座24，所述夾面支撐部21設(shè)置在所述底座24上。更佳地，所述壓緊環(huán)清洗底部保護(hù)治具2還包括限位所述壓緊環(huán)1的限位部25，所述限位部25設(shè)置在所述底座24上，所述夾面支撐部21位于所述限位部25內(nèi)。在本發(fā)明的具體實(shí)施例中，所述限位部25為限位環(huán)，所述夾面支撐部21為支撐環(huán)。
請(qǐng)參見(jiàn)圖4和圖5所示，本發(fā)明的壓緊環(huán)清洗上部保護(hù)治具3包括遮蓋所述壓緊環(huán)1的夾面11上部的遮蓋面31。較佳地，所述壓緊環(huán)清洗上部保護(hù)治具3為環(huán)形圈，所述遮蓋面31為所述環(huán)形圈的下表面。在本發(fā)明的具體實(shí)施例中，所述的環(huán)形圈的下表面上設(shè)置有對(duì)稱凹部32。與夾面11上部有凸部(shadow)的夾緊環(huán)1匹配，起到定位作用，使夾面11上部與壓緊環(huán)清洗上部保護(hù)治具3的遮蓋面31緊貼，從而保證在噴砂處理時(shí)壓緊環(huán)清洗上部保護(hù)治具3起到完全的保護(hù)作用。 請(qǐng)參見(jiàn)圖6和圖7所示，本發(fā)明的壓緊環(huán)夾面高度檢測(cè)治具4包括底板41和設(shè)置在所述底板41上的夾面支承部42，所述夾面支承部42具有支承所述壓緊環(huán)1的夾面ll底部的上部表面43，所述底板41的上表面44平行于所述上部表面43。在本發(fā)明的具體實(shí)施例中，所述夾面支承部42是夾面支承環(huán)。 本發(fā)明的壓緊環(huán)清洗底部保護(hù)治具2是壓緊環(huán)1的底部清洗時(shí)的保護(hù)治具。請(qǐng)參見(jiàn)圖8所示，使用時(shí)，壓緊環(huán)清洗底部保護(hù)治具2放置在壓緊環(huán)1的下部，壓緊環(huán)1的夾面11緊貼在夾面支撐部21的頂部表面22上，從而防止壓緊環(huán)1的夾面11在受外作用力使夾面11產(chǎn)生彎曲，減少中間檢查對(duì)壓緊環(huán)1保護(hù)人工加工工時(shí)及節(jié)省保護(hù)膠帶(使用壓緊環(huán)清洗底部保護(hù)治具2保護(hù)每個(gè)壓緊環(huán)1可節(jié)省0. 95m保護(hù)膠帶和5min人工加工工時(shí))。
本發(fā)明的壓緊環(huán)清洗上部保護(hù)治具3是壓緊環(huán)1的上部清洗時(shí)的保護(hù)治具。請(qǐng)參見(jiàn)圖9所示，使用時(shí)，壓緊環(huán)清洗上部保護(hù)治具3放置在壓緊環(huán)1的夾面ll的上部區(qū)域，遮蓋面31緊貼壓緊環(huán)1的夾面11的上部，使用此保護(hù)治具，對(duì)易損耗區(qū)域進(jìn)行保護(hù)，并且采取分段分壓的噴砂方式來(lái)降低壓緊環(huán)1的夾面11高度的清洗再生損耗(內(nèi)徑每次清洗損耗大約0. 025mm)。 本發(fā)明的壓緊環(huán)夾面高度檢測(cè)治具4是壓緊環(huán)1的夾面11的高度檢測(cè)治具。請(qǐng)參見(jiàn)圖10所示，使用時(shí)，壓緊環(huán)夾面高度檢測(cè)治具4放置在壓緊環(huán)1的下部，壓緊環(huán)1的夾面11緊貼在夾面支承部42的上部表面43上，采用塞尺測(cè)量、監(jiān)控夾面11高度，判斷失效標(biāo)準(zhǔn)。 采用了本發(fā)明的上述壓緊環(huán)清洗底部保護(hù)治具2、壓緊環(huán)清洗上部保護(hù)治具3和壓緊環(huán)夾面高度檢測(cè)治具4后，壓緊環(huán)1的清洗次數(shù)達(dá)到35次左右(原來(lái)20次左右就報(bào)廢)。 綜上，本發(fā)明的壓緊環(huán)清洗保護(hù)及測(cè)量治具設(shè)計(jì)巧妙，能大大減少夾面高度在再生過(guò)程中的損耗，顯著提高壓緊環(huán)清洗次數(shù)，延長(zhǎng)客戶部件更換周期，解決夾面高度測(cè)量效率低、測(cè)量治具比較昂貴的問(wèn)題，大大降低用戶使用維護(hù)成本，適于大規(guī)模推廣應(yīng)用。
在此說(shuō)明書(shū)中，本發(fā)明已參照其特定的實(shí)施例作了描述。但是，很顯然仍可以作出各種修改和變換而不背離本發(fā)明的精神和范圍。因此，說(shuō)明書(shū)和附圖應(yīng)被認(rèn)為是說(shuō)明性的而非限制性的。
權(quán)利要求
一種壓緊環(huán)清洗底部保護(hù)治具，其特征在于，所述壓緊環(huán)清洗底部保護(hù)治具包括夾面支撐部，所述夾面支撐部具有支撐所述壓緊環(huán)的夾面底部的頂部表面。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓緊環(huán)清洗底部保護(hù)治具，其特征在于，所述夾面支撐部為夾面支撐環(huán)。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的壓緊環(huán)清洗底部保護(hù)治具，其特征在于，所述夾面支撐環(huán)的頂部外側(cè)具有至少一對(duì)向內(nèi)對(duì)稱的凹陷。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓緊環(huán)清洗底部保護(hù)治具，其特征在于，所述壓緊環(huán)清洗底部保護(hù)治具還包括底座，所述夾面支撐部設(shè)置在所述底座上。
5. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的壓緊環(huán)清洗底部保護(hù)治具，其特征在于，所述壓緊環(huán)清洗底部保護(hù)治具還包括限位所述壓緊環(huán)的限位部，所述限位部設(shè)置在所述底座上，所述夾面支撐部位于所述限位部?jī)?nèi)。
6. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的壓緊環(huán)清洗底部保護(hù)治具，其特征在于，所述限位部為限位環(huán)，所述夾面支撐部為支撐環(huán)。
7. —種壓緊環(huán)清洗上部保護(hù)治具，其特征在于，所述壓緊環(huán)清洗上部保護(hù)治具包括遮蓋所述壓緊環(huán)的夾面上部的遮蓋面。
8. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的壓緊環(huán)清洗上部保護(hù)治具，其特征在于，所述壓緊環(huán)清洗上部保護(hù)治具為環(huán)形圈，所述遮蓋面為所述環(huán)形圈的下表面。
9. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的壓緊環(huán)清洗上部保護(hù)治具，其特征在于，所述的環(huán)形圈的下表面上設(shè)置有對(duì)稱凹部。
10. —種壓緊環(huán)夾面高度檢測(cè)治具，其特征在于，所述壓緊環(huán)夾面高度檢測(cè)治具包括底板和設(shè)置在所述底板上的夾面支承部，所述夾面支承部具有支承所述壓緊環(huán)的夾面底部的上部表面，所述底板的上表面平行于所述上部表面。
11. 根據(jù)權(quán)利要求10所述的壓緊環(huán)夾面高度檢測(cè)治具，其特征在于，所述夾面支承部是夾面支承環(huán)。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種壓緊環(huán)清洗底部保護(hù)治具，包括夾面支撐部，夾面支撐部具有支撐壓緊環(huán)的夾面底部的頂部表面，較佳地，夾面支撐部為夾面支撐環(huán)，還包括底座，夾面支撐部設(shè)置在底座上；本發(fā)明還涉及一種壓緊環(huán)清洗上部保護(hù)治具，包括遮蓋壓緊環(huán)的夾面上部的遮蓋面，本發(fā)明還涉及一種壓緊環(huán)夾面高度檢測(cè)治具，包括底板和設(shè)置在底板上的夾面支承部，夾面支承部具有支承壓緊環(huán)的夾面底部的上部表面，底板的上表面平行于上部表面，本發(fā)明設(shè)計(jì)巧妙，能大大減少夾面高度在再生過(guò)程中的損耗，顯著提高壓緊環(huán)清洗次數(shù)，延長(zhǎng)客戶部件更換周期，解決夾面高度測(cè)量效率低、測(cè)量治具比較昂貴的問(wèn)題，大大降低用戶使用維護(hù)成本，適于大規(guī)模推廣應(yīng)用。
文檔編號(hào)B24C1/00GK101780659SQ20091020009
公開(kāi)日2010年7月21日 申請(qǐng)日期2009年12月8日 優(yōu)先權(quán)日2009年12月8日
發(fā)明者盧國(guó)云, 廖宗潔 申請(qǐng)人:上海申和熱磁電子有限公司