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技術(shù)編號(hào)：3318922

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一種修整裝置及具有它的CMP裝置、用于它的修整器盤，可改善修整器盤旋轉(zhuǎn)時(shí)的搖晃。修整裝置(1)可對(duì)研磨墊進(jìn)行修整，具有保持部(3)，其能夠與可旋轉(zhuǎn)且可上下移動(dòng)的修整器驅(qū)動(dòng)軸(2)連接；修整器盤(4)，其能夠安裝在保持部(3)上，具有與研磨墊摩擦的修整面(4a)；扭矩傳遞部(6)，其形成在保持部(3)及修整器盤(4)上，呈向盤半徑方向延伸的凹凸?fàn)?，且?dāng)將修整器盤(4)安裝在保持部(3)上時(shí)扭矩傳遞部(6)嵌合；以及平坦面狀的接觸面(7)，其形成為扭矩傳遞部(...
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