技術(shù)編號：2944540
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于真空科學(xué)技術(shù)、平面顯示技術(shù)、微電子技術(shù)、大規(guī)模集成電路技術(shù)以及納米科學(xué)技術(shù)的相互交叉領(lǐng)域，涉及到場致發(fā)射平板顯示器的器件制作，具體涉及到碳納米管陰極的三極結(jié)構(gòu)場致發(fā)射顯示器的器件制作方面的內(nèi)容，特別涉及到帶有鎮(zhèn)流電阻結(jié)構(gòu)的、碳納米管陰極的、三極結(jié)構(gòu)的場致發(fā)射平面顯示器件的制作工藝。背景技術(shù) 對于利用碳納米管作為陰極材料的場致發(fā)射平面顯示器件來說，顯示圖像質(zhì)量的好與壞是整體顯示器件制作成功與否的關(guān)鍵指標(biāo)之一。而實(shí)現(xiàn)碳納米管陰極能夠均勻、穩(wěn)定的發(fā)射大...
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