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一種用于感應(yīng)耦合等離子體刻蝕機(jī)的信號(hào)過(guò)濾結(jié)構(gòu)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2847774

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本實(shí)用新型涉及一種用于感應(yīng)耦合等離子體刻蝕機(jī)的信號(hào)過(guò)濾結(jié)構(gòu)。背景技術(shù)制備晶圓過(guò)程中所使用感應(yīng)耦合等離子體刻蝕機(jī),在使用時(shí),比較容易產(chǎn)生氦氣閥沒(méi)有打開的警報(bào),這種警報(bào)發(fā)生后,會(huì)造成很高的晶圓報(bào)廢率??刂坪獾氖菤怏w流量器,即氣體流量器通過(guò)向氦氣閥開閉控制裝置發(fā)出控制信號(hào),來(lái)控制氦氣閥的開閉,但感應(yīng)耦合等離子體刻蝕機(jī)運(yùn)行時(shí),等離子體會(huì)對(duì)信號(hào)產(chǎn)生干擾,造成氣體流量器發(fā)出的信號(hào)不穩(wěn)定,進(jìn)而影響氦氣閥的開閉。發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的,就是為了解決上述問(wèn)題而提供了一種...
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