專(zhuān)利名稱(chēng)：一種用于感應(yīng)耦合等離子體刻蝕機(jī)的信號(hào)過(guò)濾結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種用于感應(yīng)耦合等離子體刻蝕機(jī)的信號(hào)過(guò)濾結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)：
制備晶圓過(guò)程中所使用感應(yīng)耦合等離子體刻蝕機(jī)，在使用時(shí)，比較容易產(chǎn)生氦氣閥沒(méi)有打開(kāi)的警報(bào)，這種警報(bào)發(fā)生后，會(huì)造成很高的晶圓報(bào)廢率?？刂坪獾氖菤怏w流量器，即氣體流量器通過(guò)向氦氣閥開(kāi)閉控制裝置發(fā)出控制信號(hào)，來(lái)控制氦氣閥的開(kāi)閉，但感應(yīng)耦合等離子體刻蝕機(jī)運(yùn)行時(shí)，等離子體會(huì)對(duì)信號(hào)產(chǎn)生干擾，造成氣體流量器發(fā)出的信號(hào)不穩(wěn)定，進(jìn)而影響氦氣閥的開(kāi)閉。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的，就是為了解決上述問(wèn)題而提供了一種用于感應(yīng)耦合等離子體刻蝕機(jī)的信號(hào)過(guò)濾結(jié)構(gòu)。本實(shí)用新型的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的:本實(shí)用新型的一種用于感應(yīng)耦合等離子體刻蝕機(jī)的信號(hào)過(guò)濾結(jié)構(gòu)，所述感應(yīng)耦合等離子體刻蝕機(jī)包括氣體流量器和與該氣體流量器通過(guò)信號(hào)線(xiàn)連接的氦氣閥開(kāi)閉控制裝置，所述氣體流量器和氦氣閥開(kāi)閉控制裝置之間的信號(hào)線(xiàn)上設(shè)有一信號(hào)過(guò)濾器，且該信號(hào)過(guò)濾器一端接地。本實(shí)用新型在氣體流量器和氦氣閥開(kāi)閉控制裝置之間的信號(hào)線(xiàn)上增設(shè)一信號(hào)過(guò)濾器，且該信號(hào)過(guò)濾器一端接地，由此能夠把信號(hào)干擾通過(guò)接地線(xiàn)排除，使氣體流量器發(fā)出的信號(hào)通過(guò)信號(hào)過(guò)濾器完整地發(fā)送到氦氣閥開(kāi)閉控制裝置，確保信號(hào)穩(wěn)定的傳送。

圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
下面將結(jié)合附圖，對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說(shuō)明。請(qǐng)參閱圖1，本實(shí)用新型用于感應(yīng)耦合等離子體刻蝕機(jī)的信號(hào)過(guò)濾結(jié)構(gòu)。感應(yīng)耦合等離子體刻蝕機(jī)包括氣體流量器I和與該氣體流量器I通過(guò)信號(hào)線(xiàn)11連接的氦氣閥開(kāi)閉控制裝置2，氣體流量器I和氦氣閥開(kāi)閉控制裝置2之間的信號(hào)線(xiàn)11上設(shè)有一信號(hào)過(guò)濾器3，且該信號(hào)過(guò)濾器3 —端接地。信號(hào)過(guò)濾器3兩端分別有16PIN的輸入接口和輸出接口，氣體流量器I通過(guò)信號(hào)線(xiàn)11與信號(hào)過(guò)濾器3的輸入接口連接，信號(hào)過(guò)濾器3的輸出接口通過(guò)信號(hào)線(xiàn)11與氦氣閥開(kāi)閉控制裝置2連接，信號(hào)過(guò)濾器3本身加裝一根接地線(xiàn)，能夠把信號(hào)干擾通過(guò)這根接地線(xiàn)排除，使氣體流量器I發(fā)出的信號(hào)通過(guò)信號(hào)過(guò)濾器3完整地發(fā)送到氦氣閥開(kāi)閉控制裝置2，確保信號(hào)穩(wěn)定的傳送。[0012]以上實(shí)施例僅供說(shuō)明本實(shí)用新型之用，而非對(duì)本實(shí)用新型的限制，有關(guān)技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員，在不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍的情況下，還可以作出各種變換或變型，因此所有等同的技術(shù)方案也應(yīng)該屬于本實(shí)用新型的范疇，應(yīng)由各權(quán)利要求所限定。
權(quán)利要求1.一種用于感應(yīng)耦合等離子體刻蝕機(jī)的信號(hào)過(guò)濾結(jié)構(gòu)，所述感應(yīng)耦合等離子體刻蝕機(jī)包括氣體流量器和與該氣體流量器通過(guò)信號(hào)線(xiàn)連接的氦氣閥開(kāi)閉控制裝置，其特征在于，所述氣體流量器和氦氣閥開(kāi)閉控制裝置之間的信號(hào)線(xiàn)上設(shè)有一信號(hào)過(guò)濾器，且該信號(hào)過(guò)濾器一端接地。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種用于感應(yīng)耦合等離子體刻蝕機(jī)的信號(hào)過(guò)濾結(jié)構(gòu)，所述感應(yīng)耦合等離子體刻蝕機(jī)包括氣體流量器和與該氣體流量器通過(guò)信號(hào)線(xiàn)連接的氦氣閥開(kāi)閉控制裝置，所述氣體流量器和氦氣閥開(kāi)閉控制裝置之間的信號(hào)線(xiàn)上設(shè)有一信號(hào)過(guò)濾器，且該信號(hào)過(guò)濾器一端接地。本實(shí)用新型在氣體流量器和氦氣閥開(kāi)閉控制裝置之間的信號(hào)線(xiàn)上增設(shè)一信號(hào)過(guò)濾器，且該信號(hào)過(guò)濾器一端接地，由此能夠把信號(hào)干擾通過(guò)接地線(xiàn)排除，使氣體流量器發(fā)出的信號(hào)通過(guò)信號(hào)過(guò)濾器完整地發(fā)送到氦氣閥開(kāi)閉控制裝置，確保信號(hào)穩(wěn)定的傳送。
文檔編號(hào)H01J37/32GK203013673SQ201220703799
公開(kāi)日2013年6月19日 申請(qǐng)日期2012年12月18日 優(yōu)先權(quán)日2012年12月18日
發(fā)明者黃惠良, 李雪峰, 陳子勇 申請(qǐng)人:上海鴻輝光通科技股份有限公司