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缺陷修正裝置及缺陷修正方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2754535

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本發(fā)明涉及顯示器裝置的制造工序中的缺陷修正的技術(shù)。尤其涉及適合用于修正 在平板顯示器(FPD ;Flat Panel Display)的 TFT(薄膜晶體管 ThinFilm Transistor)基 板等的基板上形成的器件構(gòu)圖及布線構(gòu)圖上的缺陷的。背景技術(shù)現(xiàn)在,作為顯示器裝置,有機(jī)EL (Electro Luminescence)顯示器及液晶顯示器等 所謂平板顯示器非常普遍。這些顯示器裝置由薄膜晶體管(TFT)及電容器等元件,以及包 含與這些元件電連接的...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。

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