技術(shù)編號(hào)：2738340
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種利用處理液將以圖案狀形成在基板上的溶解膜溶解，從 而從基板上除去形成在溶解膜上的薄膜的。背景技術(shù)在FPD (Flat Panel Display平板顯示器)或?yàn)V色片等的制造工序中， 取代金屬的蝕刻，而通過剝離(lift off)法來形成金屬的薄膜圖案。在此， 剝離法是指利用光致抗蝕劑等的溶解膜在基板的表面上形成與目標(biāo)圖案相 反的圖案，并對(duì)該基板蒸鍍金屬薄膜之后，通過處理液使溶解膜溶解，從而 從基板上除去溶解膜上的金屬薄膜來形成所要的圖案的方法...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。