技術(shù)編號：2731349
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及感光性樹脂組合物、感光性干膜以及使用它們的圖案形成方法。本申 請基于在2009年12月28日于日本申請的特愿2009 — 297144號主張優(yōu)先權(quán)，將其內(nèi)容引用至本申請中。背景技術(shù)作為形成電子電路等的工藝，一般使用采用感光性樹脂組合物的工藝。使用了感光性樹脂組合物的電路形成工藝中，通過經(jīng)過以下工序來形成電子電路，所述工序包括在基材表面上形成由感光性樹脂組合物形成的抗蝕劑膜的工序；隔著掩模對抗蝕劑膜照射光而形成潛像的工序；將形成有潛像的抗蝕劑膜用顯...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。