技術(shù)編號(hào):2715386
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明公開(kāi)了,包括光源、空間光調(diào)制器和曝光板材;在此基礎(chǔ)上,還包括吹氣管,吹氣管安裝在曝光板材表面的前方,吹氣管上開(kāi)有多個(gè)出風(fēng)口,所述的出風(fēng)口的出風(fēng)位置對(duì)應(yīng)曝光板材表面易堆積贓物的區(qū)域。本發(fā)明通過(guò)在曝光板材表面的前方增加了吹氣管,在光束二到達(dá)待曝光板材表面的同時(shí),吹氣管出風(fēng),經(jīng)由出風(fēng)口對(duì)曝光板材表面易堆積贓物區(qū)域進(jìn)行吹掃,待贓物全清除后停止出風(fēng),從而避免了因贓物污染,導(dǎo)致光束無(wú)法直接照射到板材表面,從而贓物覆蓋處無(wú)法發(fā)生化學(xué)感光聚合反應(yīng),出現(xiàn)圖形的缺失而引...
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該專(zhuān)利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。