技術編號：2714756
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及窄分布甲基丙烯酸酯類光敏聚合物的合成及一種能夠在堿性水溶液中顯影的非化學增幅型負性光刻膠組合物。利用RAFT聚合制備窄分布甲基丙烯酸酯類聚合物，通過甲基丙烯酸縮水甘油酯（GMA)上環(huán)氧基團與聚合物上羧基間的開環(huán)反應引入光敏基團，得到窄分布甲基丙烯酸酯類光敏聚合物。以合成的光敏聚合物為主體樹脂，加入光引發(fā)劑、活性稀釋劑等助劑制備可在堿性水溶液中顯影的非化學增幅型負性光刻膠。專利說明一種分子量窄分布的丙烯酸酯類共聚物及其光刻膠組合物 [0001...
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