技術(shù)編號：2689726
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種基底固定件，例如可以用在一種光刻投射裝置，其中包括-一個輻射系統(tǒng)，用來提供投射輻射光束；-一個支撐結(jié)構(gòu)，用來支撐構(gòu)圖部件，該構(gòu)圖部件用于根據(jù)所希望的圖案對投射光束進行構(gòu)圖；-一個基底臺，用來固定基底；以及-一個投射系統(tǒng)，用來向基底的靶部投射帶圖案的光束。以及制造器件的方法。背景技術(shù) 這里所采用的術(shù)語“構(gòu)圖部件”應(yīng)該被更廣義地解釋為一種能夠向一個入射的輻射光束賦予帶圖案的截面的部件，其中所述圖案相應(yīng)于將要在基底的靶部中形成的圖案；術(shù)語“光閥”也...
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