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噴墨打印機(jī)頭的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2509040

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本發(fā)明涉及壓電方式的噴墨打印機(jī)頭。 背景技術(shù)作為MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)設(shè)備的代表,有噴墨打印機(jī)頭。 噴墨打印機(jī)頭根據(jù)墨液的噴出方式,大致分為壓電方式(壓力方式)和熱方式(氣泡方 式)。壓電方式的噴墨打印機(jī)頭中,通過(guò)硅基板的精細(xì)加工,形成加壓室和振動(dòng)膜 (diaphragm)。振動(dòng)膜從加壓室的一側(cè)面向加壓室。在振動(dòng)膜的與加壓室相反的一側(cè)的面 上配置壓電元件。硅基板與金屬板相接合,使得從與振動(dòng)膜相反的一側(cè)封...
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