技術編號：2014055
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種復合薄膜的制備方法，尤其涉及一種在玻璃基片表面制備巰基硅烷—稀土自潤滑復合薄膜的方法。屬于薄膜制備。背景技術 現(xiàn)代機械科學的發(fā)展出現(xiàn)機電一體化、超精密化和微型化的趨勢，許多高新技術裝置等的摩擦副間隙常處于納米量級，由于微型機械中受到尺寸效應的影響，微摩擦磨損和納米薄膜潤滑已成為關鍵問題，目前可以用自組裝方法或者利用溶膠—凝膠法制備薄膜來解決該問題。但是自組裝單層膜的膜厚調(diào)節(jié)范圍有限，而用溶膠—凝膠法可以通過多次涂覆過程，可以制備比較厚的納米級...
注意：該技術已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術人員進行技術研發(fā)參考以及查看自身技術是否侵權(quán)，增加技術思路，做技術知識儲備，不適合論文引用。