技術(shù)編號：1984382
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。背景技術(shù)單晶爐在拉制單晶硅棒時，盛裝多晶硅塊的石英坩鍋放入位于堝托之上的石墨坩堝托內(nèi)，在氫或氮氣保護氣體中靠石墨加熱器加熱，將多晶硅材料熔化，當(dāng)溫度達到工藝要求時，引晶經(jīng)導(dǎo)流筒插入熔融多晶硅液體中，使多晶硅按引晶的硅原子排列順序結(jié)晶，凝固成單晶硅。目前單晶爐導(dǎo)流筒普遍采用高純石墨和C/C復(fù)合材料制備而成，主要起高溫氣體的導(dǎo)流作用。即要求其良好的耐熱性能、力學(xué)性能和抗氧化性能，又要具有一定的保溫隔熱性能和抗裂性能，以保持導(dǎo)流筒內(nèi)單晶硅棒區(qū)與熔融的多晶硅的溫差...
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