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硅片多線切割斷線檢測護板組件的制作方法技術資料下載

技術編號:1897882

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本實用新型公開了一種硅片多線切割斷線檢測護板組件,其包括位于切割線外側的外檢測護板和位于切割線內側的兩上、兩下內檢測護板,兩上內檢測護板在沿導輪外圓的方向水平設置兩根檢測桿,兩根檢測桿的兩端分別固定在兩上內檢測護板內側兩端的梯形絕緣固定板上,兩根檢測桿電連接,并與上內檢測護板電連接;兩下內檢測護板在沿導輪外圓的方向水平設置一根檢測桿,該根檢測桿的兩端分別固定在兩下內檢測護板內側兩端的梯形絕緣固定板上,檢測桿與下內檢測護板電連接。本實用新型的檢測靈敏度高,大...
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