技術(shù)編號：1870462
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及一種冷卻系統(tǒng)，特別是涉及一種多線切割機(jī)砂漿冷卻系統(tǒng)背景技術(shù)隨著加工硅片直徑增大和對硅片表面晶格的完整性要求越來越高，多線切割技術(shù)已逐漸取代了傳統(tǒng)的內(nèi)圓切割，成為硅片切割加工的主要方式。但是隨著硅片行業(yè)的發(fā)展，切割效率需求更高，連續(xù)切割時(shí)間更長、切割熱量更大、整機(jī)散熱性要求更高?，F(xiàn)有的多線切割機(jī)的冷卻系統(tǒng)為油冷卻，但此方式冷卻效果不明顯，特別是在加工4英寸雙顆單晶硅棒的過程中①容易因溫度過高而造成停機(jī)，使產(chǎn)品質(zhì)量受到嚴(yán)重影響該冷卻系統(tǒng)為單臺循環(huán)...
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