專利名稱：多線切割機砂漿冷卻系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種冷卻系統(tǒng)，特別是涉及一種多線切割機砂漿冷卻系統(tǒng)
背景技術(shù)：
隨著加工硅片直徑增大和對硅片表面晶格的完整性要求越來越高，多線切割技術(shù)已逐漸取代了傳統(tǒng)的內(nèi)圓切割，成為硅片切割加工的主要方式。但是隨著硅片行業(yè)的發(fā)展，切割效率需求更高，連續(xù)切割時間更長、切割熱量更大、整機散熱性要求更高。現(xiàn)有的多線切割機的冷卻系統(tǒng)為油冷卻，但此方式冷卻效果不明顯，特別是在加工4英寸雙顆單晶硅棒的過程中①容易因溫度過高而造成停機，使產(chǎn)品質(zhì)量受到嚴重影響該冷卻系統(tǒng)為單臺循環(huán)，故成本較高。

實用新型內(nèi)容本實用新型的目的是為了解決上述問題而提供一種冷卻效果好、能耗低、成本低的多線切割機砂漿冷卻系統(tǒng)。本實用新型是通過以下技術(shù)方案實現(xiàn)的一種多線切割機砂漿冷卻系統(tǒng)，包括兩臺或兩臺以上的多線切割機，所述多線切割機包括砂漿冷卻交換包，所述多線切割機砂漿冷卻系統(tǒng)還包括冷凝塔，所述兩臺或兩臺以上的多線切割機通過循環(huán)水管連接有砂漿冷卻交換包，所述冷凝塔的出水管與所述砂漿冷卻交換包的進水管連接，所述冷凝塔的進水管與所述砂漿冷卻交換包的出水管連接。作為一種優(yōu)選方式，所述砂漿冷卻交換包的出水管設(shè)有溫度傳感器。通過安裝在所述砂漿冷卻交換包的出水管上的溫度傳感器能夠檢測冷卻水對砂漿進行冷卻后的溫度，能實時采集不同多線切割機砂漿冷卻交換包的工作溫度，了解不同多線切割機砂漿冷卻交換包對砂漿的冷卻效果。進一步地，所述冷凝塔的出水管上設(shè)有流量控制閥。通過在冷凝塔的出水管上安裝流量控制閥，能有效地對冷凝塔中冷卻水的流量進行調(diào)節(jié)，可以根據(jù)加工硅片的需要和運行的多線切割機的臺數(shù)，合理地調(diào)節(jié)冷卻水的流量。當冷凝塔中的冷卻水對砂漿的冷卻效果較佳時，通過調(diào)節(jié)流量控制器可以阻斷冷卻交換器中的冷卻水的流出，通過流量控制器能節(jié)約冷卻過程中的能耗。本實用新型的有益效果是通過采用冷凝水與冷凝塔的方式對多線切割機中的砂漿進行冷卻，冷凝效果較好，能避免在加工過程中因溫度過高而造成停機使產(chǎn)品質(zhì)量受到嚴重影響；該冷凝水通過循環(huán)水管能在不同的多線切割機砂漿之間循環(huán)，節(jié)約了成本，降低了冷卻過程中的耗能。

圖I是本實用新型的示意圖；圖2是本實用新型中多線切割機的砂漿冷卻裝置結(jié)構(gòu)示意圖；[0012]圖中I-砂漿冷卻交換包，2-冷卻水進水口，3-冷卻水出水口，4-流量控制閥。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖及具體實施例對本實用新型作進一步的詳細說明如圖I和圖2所示，本實用新型包括兩臺或兩臺以上的多線切割機和冷凝塔，所述多線切割機包括砂漿冷卻交換包I，所述冷凝塔中裝有冷卻水，所述兩臺或兩臺以上的多線切割機的砂漿冷卻交換包I通過循環(huán)水管連接，所述冷凝塔的出水管與砂漿冷卻交換包I的進水管連接，所述冷凝塔的進水管與砂漿冷卻交換包I的出水管連接。如圖2所示，砂漿冷卻交換包I設(shè)有冷卻水進水口 2和冷卻水出水口 3，砂漿冷卻交換包I的出水管靠近冷卻水出水口 3處設(shè)有溫度傳感器。通過安裝在砂漿冷卻交換包I的出水管上的溫度傳感器能夠檢測冷卻水對砂漿進行冷卻后的溫度，能實時采集不同多線切割機砂漿冷卻交換包I的工作溫度，了解不同多線切割機砂漿冷卻交換包I對砂漿的冷卻效果。如圖2所示，所述冷凝塔的出水管上設(shè)有流量控制閥4。流量控制閥4能有效地對冷卻交換系統(tǒng)中冷卻水的流量進行很好的調(diào)節(jié)。當冷凝塔出現(xiàn)故障或者冷凝效果不能達到工作需要時，可以根據(jù)加工硅片的需要，通過調(diào)節(jié)流量控制閥加大冷卻交換系統(tǒng)中冷凝水的流量；當冷凝塔中的冷卻水對砂漿的冷卻效果較佳時，通過調(diào)節(jié)流量控制閥4可以阻斷冷卻交換系統(tǒng)中的冷卻水的流出，通過流量控制閥4能節(jié)約冷卻過程中的能耗。最后需要說明的是，如熟悉此技術(shù)的人員所了解的，以上所述僅為本實用新型的較佳實施例，而不是對本實用新型技術(shù)方案的限定，任何對本實用新型技術(shù)特征所做的等同替換或相應(yīng)改進，仍在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種多線切割機砂漿冷卻系統(tǒng)，包括兩臺或兩臺以上的多線切割機，所述多線切割機包括砂漿冷卻交換包，其特征在于所述多線切割機砂漿冷卻系統(tǒng)還包括冷凝塔，所述兩臺或兩臺以上的多線切割機通過循環(huán)水管連接有砂漿冷卻交換包，所述冷凝塔的出水管與所述砂漿冷卻交換包的進水管連接，所述冷凝塔的進水管與所述砂漿冷卻交換包的出水管連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的多線切割機砂漿冷卻系統(tǒng)，其特征在于所述砂漿冷卻交換包的出水管設(shè)有溫度傳感器。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的多線切割機砂漿冷卻系統(tǒng)，其特征在于所述冷凝塔的出水管上設(shè)有流量控制閥。
專利摘要本實用新型公開了一種多線切割機砂漿冷卻系統(tǒng)，包括兩臺或兩臺以上的多線切割機，所述多線切割機包括砂漿冷卻交換包；所述多線切割機砂漿冷卻系統(tǒng)還包括冷凝塔，所述兩臺或兩臺以上的多線切割機通過循環(huán)水管連接有砂漿冷卻交換包，所述冷凝塔的出水管與所述砂漿冷卻交換包的進水管連接，所述冷凝塔的進水管與所述砂漿冷卻交換包的出水管連接。本實用新型能避免在加工過程中因溫度過高而造成停機使產(chǎn)品質(zhì)量受到嚴重影響，還具有冷卻效果好、能耗低和成本低等優(yōu)點。
文檔編號B28D7/02GK202357301SQ20112043858
公開日2012年8月1日 申請日期2011年11月8日 優(yōu)先權(quán)日2011年11月8日
發(fā)明者熊稼林, 王正龍, 賈智 申請人:成都青洋電子材料有限公司